Moore’s Law的延續-鰭式場效應電晶體的誕生

2021-01-05 騰訊網

摩爾定律

1965年4月,Intel創始人之一摩爾(Gordon Moore)提出了著名的摩爾定律,其內容為:集成電路上可容納的電晶體數目,約每隔兩年便會增加一倍。而現在經常被引用的「18個月」,則是由大衛·豪斯(David House)提出:預計18個月會將晶片的性能提高一倍,這是一種指數級的性能提升。

摩爾定律並非自然規律,而應該被視為對未來集成電路發展的觀測或者預測,但是這樣的「預言」卻伴隨著集成電路半個多世紀的快速發展並不斷的「自我實現」。從實際使用角度看,摩爾定律可以理解為微處理器的性能每隔18個月提高一倍,或價格下降一半。IC Insights的2020年版《McClean報告》(於1月發布)顯示了在過去的50年中,DRAM、快閃記憶體、微處理器和圖形處理器如何跟蹤Moore預測的曲線。從曲線可以看出,摩爾定律仍然在集成電路行業中發揮著作用。但是,在過去的10到15年中,諸如功耗和與微縮限制等種種物理極限制約著其進一步發展。隨著新工藝節點的不斷推出,電晶體體積越來越小,比如當電晶體溝道區域長度足夠短的時候,量子穿隧效應就會發生,會導致漏電流增加,進而導致電晶體效能的下降。

FinFET:今天最先進的電晶體

那麼在摩爾定律進入深水區以後,半導體的發展方向是什麼呢?十年前,也就是2010年,當傳統planar CMOS結構走到盡頭時,由於胡正明教授發明的鰭式電晶體(FinFET),使得摩爾定律得以延續傳奇。

胡正明院士(中國科學院外籍院士、微電子學家)

您或許要問,FinFET到底是什麼?與標準電晶體有什麼不同?會帶來什麼樣的優勢?這要從平面工藝說起--Jean Hoerni於1950年代在飛兆半導體公司發明的平面工藝。平面工藝能實現更小型的電晶體,並將其安裝在各種不同電路中,或者將它們高效連接在一起嵌入在平行面板上,而不必像印刷電路板上的分離式組件一樣堆疊在一起。平面工藝實現了IC的極端小型化。隨著平面工藝的實施,半導體可以分層內置或蝕刻在超純晶圓片上。但是,平面電晶體的源極、柵極和漏極都非常小,性能要求又極高,因此在集成電路工藝低於25nm之後,這些平面電晶體已經越來越難以完全控制其中電子的流動。電子可能會外洩,或者即便器件關閉也可能從漏極流出。

左:平面電晶體;右:鰭式電晶體

在平面電晶體中,電流通過柵極下面的平面2D水平信道從源極向漏極流動。柵電壓通過該信道來控制電流。而在FinFET 中,柵極可環繞三側信道,因此其靜電控制效果更佳,可有效阻止電晶體 「關閉」狀態下的電流,降低功耗。更出色的門控效果使設計人員可以增大電流和開關速度,進而提高IC的性能。

FinFET的發展

2011年初,英特爾公司推出了商業化的FinFET,使用在其22nm節點的工藝上。並且,從Intel Core i7-3770之後的22nm的處理器均使用了FinFET技術。從那時起,FinFET體系結構進行了持續的改進,以提高性能並減小面積。例如,FinFET的3D特性允許增加fin片高度,從而在相同的面積上獲得更高的器件驅動電流。如今,業界正在加快生產的10nm / 7nm晶片也是基於FinFET。在最先進的節點的標準單元大多是6T單元高度,也就是是每個器件最多擁有2根fin。但是,隨著工藝微縮至5nm節點,FinFET架構可能不再是主流。在溝道長度小到一定值時,FinFET結構又無法提供足夠的靜電控制。最重要的是,向低軌標準單元的演進需要向單fin器件過渡,即使fin高度進一步增加,單fin器件也無法提供足夠的驅動電流,因此未來半導體行業也許會採用新結構。

但是,無論未來新的結構會不會替代FinFET,無論摩爾定律會不會在未來某一天終結,半導體產業本身的發展,仍然遠遠沒有到盡頭。

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