打破國外技術壁壘,我國真空蒸鍍機取得關鍵突破!

2021-02-08 科技唐小二

我國目前已成為了OLED面板生產大國,佔據全球近一半的市場份額。但我國在OLED生產設備真空蒸鍍機技術發展上一直較為落後,不得不受制於日韓。值得欣慰的是我國一直在關鍵裝備國產化的道路上不斷努力,功夫不負有心人,我國最近在真空蒸鍍機關鍵技術上已取得重大突破,擺脫國外技術依賴指日可待!

真空蒸鍍機,OLED面板製程的「心臟」。對於我們來說,真空鍍膜機可能比較陌生,甚至比光刻機還要陌生,但目前我們所使用的行動裝置的屏幕,幾乎都是由它製造出來的。以手機為例,目前手機屏幕大部分都為AMOLED,但由於蒸鍍機設備費用昂貴,所以在手機的成本當中,晶片並不是最貴的,最貴的是屏幕。當我們的手機屏幕摔壞時,換屏幕的費用相信大家是深有體會的。

真空蒸鍍機原理

真空蒸鍍機的原理就如字面上的意思一樣,為真空鍍膜。意思就是在真空中通過電流加熱、電子束轟擊加熱和雷射加熱等方法,蒸發鍍膜材料並使之氣化,再使氣化後的分子碰撞基片表面而凝結,最後形成薄膜的過程。

而我國在這之前並沒有真空蒸鍍機,主要向日韓方面採購,而世界上性能最優的生產廠家為CANON TOKKI公司。該公司的真空蒸鍍機性能有多優秀呢?它能把有機發光材料蒸鍍到基板上的誤差控制在5微米內(1微米相當於頭髮直徑的1%),目前世界上沒有其他公司的蒸鍍機能達到這個精準度。當然價格也是天價,一臺設備超過1億美元,基本上和光刻機的價格持平了。關鍵是有錢還不一定能買到,該公司一年量產不到10臺,大部分還主要供給三星,而我國京東方當年花費大力氣買到一臺TOKKI的設備才奠定了其在我國OLED生產領域的地位。

所以擁有了高性能的真空蒸鍍機才算是擁有OLED面板生產領域的入場券。但真空蒸鍍機也並不是那麼好造的。

真空蒸鍍機可以說是一個龐然大物,其真空生產線有100米長,需要將屏幕面板在廠區間頻繁移動,所以說設備的可靠性和精度是重中之重。而OLED屏良品率的關鍵也在於蒸鍍設備的準確度。所以說這麼大型的設備還要控制到5微米的精度,其製造難度可想而知。

TOKKI公司產品

即使這樣,我國企業也不畏艱難,成功突破了國外技術壁壘,研發出了自己的國產真空鍍膜機。

去年10月份我國首條OLED蒸鍍量產線成功點亮,這是國內首條自主設計的OLED照明G2.5代量產線,並成功點亮多種顏色的OLED照明面板,該量產線的成功是國產OLED裝備關鍵技術的重大突破。

除了這些還有合肥的兩個廠家已宣布成功研發真空蒸鍍機,打破國外高端蒸鍍機的壟斷,研製出了性價比高的OLED真空蒸鍍機,目前已經接到了國內面板企業的訂單,預計今年下半年就可以下線出貨。國有企業方面也成功研發出了真空蒸鍍機,中山凱旋真空科技的設備搭載精密對位系統,對位精度甚至可達到1um,該設備的精密等級在行業內都算非常先進的,基本可以和日韓同類機型相媲美。

從企業密集宣布真空鍍膜機技術的突破,我們看到了國內該技術的蓬勃發展,雖然國產設備在精度和成熟度方面還不如日本企業,但目前我國已經取得了從無到有的重大突破,相信隨著我國OLED的發展,我國的真空蒸鍍機將會越來越先進和成熟,同時也期待我國生產的真空蒸鍍機未來能走向世界!

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