蒸餾法分為水蒸汽蒸餾法、水蒸餾法、水與蒸氣蒸餾法等，其中水蒸氣蒸餾法是最常用的精油萃取方式。
水蒸汽蒸餾法根據揮發性成分有各自不同的沸點且不同溫度下具有相應蒸汽壓的原理，在蒸餾過程中，將水放置於植物下方加熱，使水蒸汽向上通過植物後，將精油萃取而出，帶有精油的水蒸氣再經過導管冷凝成液體，透過比重的差異可將其分離成油層與水層，油層即是精油，水層即是純露。水蒸氣蒸餾萃取精油的一般工藝流程總結為：原料→浸泡→水蒸氣蒸餾→餾出液靜置→分濾→粗製精油。
一些精油的質量級數會根據蒸餾次數、出油時間分定，以依蘭依蘭精油為例，根據蒸餾次數由少到多，分為特級一級二級等，以及將各階段精油產物混合在一起稱為完全依蘭。
水蒸氣蒸餾適合用於萃取在水中溶解度不大、耐高溫的揮發性成分。此方法具有設備簡單、易操作、成本低、產量大的優點，但若加熱溫度較高時，可能會使精油中熱敏性成分發生熱分解，易水解成分發生水解及原料焦化等。
蒸餾法對蒸餾設備溫度、技術有著苛刻的要求。溫度不夠高，有效成分提取效率降低；溫度過高，可能會破壞精油的化學成分或使精油摻雜。選擇大型蒸餾設備工廠由專家把關萃取的精油，才能讓精油的品質有所保障。
另外，也有現在十分新穎的萃取方法---分子蒸餾法，是溫和的蒸餾分離手段，能脫除產品中的雜質，高效提取所需成分。
冷壓法常用於製備柑橘類精油及各類基礎油。通過擠壓果皮或機械磨料，以離心器分離收集精油，再進行分離萃取、過濾等。適合用於萃取不能承受高溫、無合適溶劑萃取的柑橘屬類果皮精油。
要注意的是，冷壓法的「冷」字不代表超低溫環境，而是相較於一般高溫萃取來說，操作溫度較低(40-60℃)。常見以冷壓法製備的精油有甜橙、葡萄柚、檸檬等。
以冷壓法製備的精油會自然含有一定比例的蠟和其他無法溶解吸收的成分，就如一些精油含有呋喃香豆素這種可能會引起光敏性，但卻是精油能鎮靜歡愉的有效成分，因此應在使用過程中注意用量用法。