中國晶片要突破，就需要這樣的人，這樣的精神

2020-09-25 迪迪科技Freestyle

作者：徐子梁

來源： 中國科學報

原題：一生創「芯」終無悔 無私奉獻助國強

徐秋霞

研究員、博士生導師，長期從事集成電路新工藝技術和新結構器件研究，承擔國家重大科技攻關、「973」「863」、國家自然科學基金等20多項科研項目，獲國家技術發明獎二等獎2項和國家科技進步獎二等獎2項、部級科技進步獎14項，在國內外學術期刊和會議發表論文共170多篇。

1958年，為研製「兩彈一星」專用109計算機，中科院微電子研究所(以下簡稱微電子所)的前身、我國第一個半導體器件生產廠——「中國科學院109廠」成立。從此，中國有了自己的半導體事業。

有這樣一群人，面對艱難困境，他們不服輸、不認邪，默默為中國集成電路事業打地基、添磚瓦，把青春年華獻給了祖國的科技事業。微電子所研究員徐秋霞便是其中傑出的一位。

不畏艱難，立志科研報國

1961年，徐秋霞考入浙江大學物理學專業。大三時，國家發展半導體事業急需人才，她隨之轉入了半導體專業，從此便與半導體結下了不解之緣。

大學畢業後，徐秋霞選擇去條件艱苦的東北長春半導體廠工作，一幹就是10多年，其間與愛人兩地分居8年多。

在一次項目攻關期間，徐秋霞父親突發急病，女兒又患上急性肝炎。為了不影響生產任務，她白天帶父親、女兒看病，晚上加班加點趕進度，確保了項目按時保質保量完成。

1978年，徐秋霞進入中科院工作，作為工藝技術負責人，參與並完成了大規模集成電路4K DRAM的研製及其提高成品率的研究任務。

此後，徐秋霞陸續擔任了中科院「七五」重大項目負責人，承擔了「1~1.5微米新工藝和新器件結構探索性研究」;「八五」期間，作為核心骨幹承擔了「0.8微米全套工藝預研」項目關鍵技術研究和集成電路晶片製備，首次在國內自主研發成功用於0.8微米VLSI的雙層金屬布線技術，並成功應用於0.8微米CMOS電路研製，獲1996年中科院科技進步獎一等獎、1997年國家科技進步獎二等獎。

此後的「九五」「十五」「十一五」，徐秋霞承擔了多項重要攻關任務和專項研究，並帶領團隊獲得2007年教育部科技獎一等獎、2008年國家科技進步獎二等獎、2016年北京市科學技術獎一等獎、2017年國家技術發明獎二等獎等多個獎項。

無私奉獻，書寫絢麗科學人生

徐秋霞堅信，成功不是輕易獲得的。從長春半導體廠到中科院的前沿研究，從「七五」到「十一五」技術攻關，數十載科技創新實踐磨鍊了徐秋霞艱苦奮鬥的優良品質和不畏險阻的堅強意志。

只要是工作，徐秋霞就永遠不會感覺疲憊。她每天都在超淨實驗室裡工作10多個小時，節假日也如此，任務緊急時，她甚至通宵達旦。

從項目總體技術路線的確定，到單項實驗、技術集成直至最後的流片方案，徐秋霞事必躬親，力求做到萬無一失。

2006年，先導中心工藝線改造升級。為了不耽誤科研進度，徐秋霞及其團隊採取超常規的工作方式，從早7點連續工作到次日凌晨，每天只吃一頓午飯。

臨近春節，工作強度仍然不減。徐秋霞的一名博士把家人從山東老家接到北京團聚。除夕夜，徐秋霞本打算邀請學生和他的家人一起吃年夜飯。但由於工作緊張，一直忙碌到第二天凌晨，連飯都沒顧上吃。徐秋霞感到十分愧疚。但這位學生的父親卻真誠地說：「把兒子交給您，我很放心。」學生家長的理解和信任給了她莫大的安慰和支持。

2013年，徐秋霞不慎摔了一跤，醫院診斷為脊椎壓縮性骨折。領導和同事都非常關心她的傷勢。雖然手術很成功，但必須臥床休養。其間，她每天都用電話和電子郵件與團隊成員溝通工作。一個月後，她剛能起身下床，便身著鐵背心堅持上班。同事們的關心和愛護給了徐秋霞溫暖，也給了她努力康復的精神力量。她堅持每天做康復訓練，3個月後，終於痊癒再次奮戰在科研一線。

教書育人，培育高新科技人才

在從事科研工作的同時，徐秋霞為研究生培養傾注了大量心血。

無論科研工作多麼繁忙，徐秋霞總會抽出時間與學生交流、悉心指導。她常教導學生，做科研首先要有創新精神，只有大膽創新、敢於突破，才能產出成果;其次要心態平和，甘於清貧、甘於寂寞、甘於枯坐「冷板凳」，要一步一個腳印，將夢想變為現實。

如今，徐秋霞已年逾七旬，但精神矍鑠，像年輕人一樣充滿活力，堅持奮戰在科研一線。她常說：「我多麼希望咱們中國在最前沿的集成電路科技領域，能夠擁有自主智慧財產權，能夠具有核心技術的競爭力，能成為集成電路產業的強國。幾十年來，我一直希望看到這樣一個局面。」

徐秋霞為實現這個目標付出畢生努力。她幾十年如一日，忠於職守，為集成電路產業發展無私奉獻，以實際行動激勵著後來人為實現中國集成電路強國之夢而奮鬥。

(作者單位：中科院微電子研究所)

《中國科學報》 (2020-09-24 第3版 信息技術)

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