PicoFemto透射電鏡原位MEMS加熱/電學測量系統

2020-09-03 麥迪森Madison


安徽澤攸-PicoFemto透射電鏡原位MEMS加熱/電學測量系統

透射電子顯微鏡可以在較高時間解析度下得到原子級空間解析度。透射電子顯微鏡原位加熱/電學測量系統是在標準外形的透射電鏡樣品杆內安裝MEMS工藝製成的微加熱晶片和電學測量晶片。微加熱晶片可對樣品進行可控溫度的加熱，電學測量晶片可對樣品進行電性質測量。並可在進行加熱和電學測量的同時，動態、高分辨地對樣品的晶體結構、化學組分、元素價態進行綜合表徵，極大地擴展了透射電子顯微鏡的功能與應用領域。

本系統硬體包括兩部分，分別是加熱/電學測量控制器、原位MEMS晶片樣品杆。軟體包括自動控溫軟體和自動電學測量軟體。
性能指標

透射電子顯微鏡指標：

● 兼容指定型號電鏡及極靴；

● 單傾可選高傾角版本；

● 可選雙傾版本，β角傾轉±25°（同時受限於極靴）；

● 測量電極數可選。

電學測量指標：

● 包含一個電流電壓測試單元；

● 電壓輸出最大±200 V，最小±100 nV；

● 電流測量最大±1.5 A，最小100 fA；

● 恆壓或者恆流模式；

● 自動電流-電壓（I-V）測量、電流-時間（I-t）測量，自動保存。

加熱與溫控指標：

● 溫度控制範圍：室溫到1200 ℃；

● 加熱功率：最大30 W；

● 控溫穩定性：優於±0.1 ℃；

● 最大升溫速率：1000 ℃/ms。

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