雷射幹涉儀的補償原理

2021-01-15 中捷立加基石培訓

一．雷射幹涉儀的結構

二．雷射幹涉儀的工作原理

來自XL雷射頭的光束進入線性幹涉鏡，在此光束被分成兩束。一束光（稱為參考光束）被引向裝在分光鏡上的反射鏡，另一束光（測量光束）則穿過分光鏡到達第二個反射鏡。然後，兩束光都被反射回分光鏡，在此它們重新組合併被導回到雷射頭，雷射頭內的探測器監測兩束光之間的幹涉。


在線性測量過程中，一個光學組件保持靜止不動，另一個光學組件沿線性軸移動。通過監測測量光束和參考光束之間的光路差異的變化，產生定位精度測量值（注意，它是兩個光學組件之間的差異測量值，與XL雷射頭的位置無關）。此測量值可以與被測機器定位系統上的讀數比較，獲得機器的精度誤差。


三．影響線性測量精度的因素

1.死程誤差

是在線性測量過程中與環境因素改變有關的誤差，這時已採用 EC10 自動補償功能。在正常狀況下，死程誤差並不大，而且只會發生在定標後以及測量過程中的環境改變。

2.餘弦誤差

雷射束路徑與運動軸之間存在的任何未準直都會造成測得的距離和實際的運動距離之間有差異。此未準直誤差通常被稱為餘弦誤差。此誤差的大小與雷射束和運動軸間的未準直角度有關。

最優化準直並使餘弦誤差最小的方法最大化雷射讀數2. 自動反射方式 3.設置直線度測量過程中的斜率消除

3.材料死程誤差

對於線性定位精度測量，材料膨脹補償通常僅應用在與測量雷射距離等長的材料路徑長度上。

4.外界環境

最為理想時使測量儀器和被檢對象處於20℃的環境下進行檢測，如不在20℃的環境下進行檢測，則必須修正軸線定位系統和檢測設備間的名義差脹，以獲得修正到20℃的檢測結果。

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