江蘇微導與泰州中來達成戰略合作 微導RIE黑矽與ALD背鈍化技術助力...

2021-01-09 索比光伏網

近日，泰州中來光電科技有限公司今日收到國家太陽能光伏產品質量監督檢測中心(CPVT)的報告，報告顯示：中來光電M2尺寸的N型IBC電池轉換效率達22.22%，在可量產的IBC電池技術裡面，處於行業領先地位。泰州中來光電科技有限公司總經理劉勇先生介紹說：「中來光電能獲得如此卓越的成績，離不開微導公司的ALD原子層沉積薄膜鈍化技術的支持。」

隸屬於先導集團的江蘇微導納米裝備科技有限公司是一家年輕的科技公司，致力於為國內外的高科技行業提供最新最可靠的生產設備和解決方案。主要產品包括原子層沉積，化學氣相沉積，以及反應離子刻蝕等設備，市場涵蓋光伏、 半導體、柔性電子、傳感器、顯示和照明、以及鋰離子電池等多個工業領域。微導專門為單、多晶高效太陽能電池技術提供高性能ALD鈍化和RIE幹法制絨生產解決方案。與傳統的鋁背場電池相比，微導光伏技術適用於多種高效晶矽太陽能電池生產線的新建、改造和升級, 可以將太陽能電池轉換效率進一步提升1%以上。微導RIE黑矽與ALD背鈍化技術的結合，為晶矽太陽能電池效率突破、降低成本提供最佳量產方案。

江蘇微導納米裝備科技有限公司董事長王燕清先生指出：「從2016年下半年起，江蘇微導聯合中來光電在不到半年的時間內就完成了從設備試車，工藝驗證到完成最終的N型高效電池量產評估等工作。」這次開發的用於太陽能電池表面鈍化的設備經過數輪的技術攻關，單批次的矽片裝載量達到了1600片，同時可以保持片內、片間的薄膜均勻性在2%以內，電池電學性能幾乎一致的優異表現。在整機產能達到每小時4000片以上的前提下，可以有效的降低昂貴化學反應源的耗量，深度集成的自動化上下料確保了0.05%以下的碎片率，極大的降低了實際使用成本。其最核心的ALD原子層沉積工藝可以在薄膜厚度低至2納米時依舊對電池表面提供良好的鈍化，這是其它技術從原理上就無法達到的條件，在核心技術上達到了國際第一梯隊的領先水平。

原子層沉積(AtomicLayer Deposition，ALD)技術是在納米技術領域及其它多個重要產業領域中的一項具有前瞻與共性的新興關鍵技術。現有的ALD量產技術都被國外的設備大廠如ASM、AMAT、TEL等壟斷。微導正在開展的ALD設備產品技術性能達到國際領先水平，填補了國內空白。同時，ALD關鍵技術的成功攻關，將促進多個工業領域包括半導體、CMOS圖像傳感器、LED、MEMS、顯示器、光伏和鋰離子電池的產業化發展。據悉，微導公司的《基於原子層沉積(ALD)技術的微納器件製造關鍵技術研發》項目，還入選了「2016年江蘇省重點研發計劃(產業前瞻與共性關鍵技術)項目」。

此外，微導專為解決金剛線多晶制絨難問題所開發的反應離子刻蝕(RIE)技術，經過一年多的開發和優化，於今年3月份在客戶現場一次成功，實現第一片實驗片反射率做到10%以下，首次金剛線多晶2800片實驗平均效率做到19%以上，最高19.41%的好成績。微導的幹法制絨的設備成功突破產能極限，實現較傳統RIE設備產能提高25%以上。此外，我們的鋁合金腔體可確保長期使用不會生鏽，更合理的內部設計大大降低了維護成本。再加上我們深度集成的自動化上下料系統確保了設備整體具有更高的穩定性、更低的碎片率以及更低的生產成本。有了這樣一臺具備Coo優勢和效率優勢的RIE設備，相信會讓金剛線多晶技術如虎添翼，為客戶帶來更大的價值。

在不斷增加的高效率、低成本晶矽太陽能電池市場需求驅動下, 微導為單、多晶高效太陽能電池技術提供高性能ALD鈍化和RIE幹法制絨生產解決方案。與傳統的鋁背場電池相比，微導光伏技術適用於多種高效晶矽太陽能電池生產線的新建、改造和升級, 可以將太陽能電池轉換效率進一步提升1%以上。微導RIE黑矽與ALD背鈍化技術的結合，為晶矽太陽能電池效率突破、降低成本提供最佳量產方案。

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