江蘇微導黎微明:ALD可大幅降低PERC生產成本,減少衰減

2020-11-22 索比光伏網

發表於：2019-09-06 10:02:42     作者：韓哲

來源：索比光伏網

9月5日，由中國光伏行業協會主辦，索比光伏網、智新研究院承辦的2019中國國際光伏技術論壇(CITPV)在杭州舉行。在電池結構及製備工藝的分論壇上，江蘇微導納米裝備科技有限公司CTO黎微明指出，ALD正逐步取代PECVD成為主流鈍化技術，降低了PERC生產成本。

效率衰減一直是單晶PERC電池產品亟待解決的問題，面對高效PERC電池市場的漸激烈競爭，黎微明指出，原子層沉積技術以其優異的鈍化效果，穩定的量產性能，近年在高效PERC電池生產取得了飛速的發展，並且在當前多種技術路線中生產成本最低，以微導為代表的國產尖端裝備更是在高效PERC電池量產發揮出重大作用。

據黎微明介紹，在目前主流量產技術的PERC電池中，微導推出的全新單面鈍化鍍膜臭氧新工藝方案，可以將量產效率提高0.1%，背膜產能提升20%，單機產能提升近一倍，超過10000片/小時，進一步降低了氧化鋁工序的生產成本。

他指出，與現有的PECVD背鈍化工藝相比，採用微導專利的ALD鍍膜技術的PERC電池在抗LeTID方面具有更加優異的性能。ALD和PECVD鍍膜技術在降低LeTID衰減中的有著明顯不同的表現，根據黎微明的分析，其原因在於ALD 三氧化二鋁薄膜具有高質量，緻密無針孔的特性，可以有效阻擋氮化矽薄膜中的氫原子向電池內部的擴散，從而減少LeTID衰減。而PECVD氧化鋁薄膜由於存在較多缺陷和針孔，無法阻擋氫原子向電池內部的擴散，因而無法避免由SiNx:H造成的LeTID衰減。黎微明表示，這個發現在組件產品的長期穩定性能方面顯然具有重要意義。

據光伏組件PID抗老化測試顯示，在高溫、高溼和高電壓條件下，組件玻璃中鈉離子的擴散對電池結構的破壞是影響組件抗PID性能的重要因素之一，改進組件封裝材料是目前解決PID問題的有效途徑之一，然而採用特殊封裝材料必然帶來組件成本的提升。黎微明表示，通過微導和新南威爾斯大學共同開發的專利技術處理的PERC電池，可做到無PID衰減。「原子層沉積技術早在上世紀八十年代就作為鈉離子阻擋層，大量用於以鹼玻璃為材料的電發光顯示器的產業化生產上，其主要原因就是ALD薄膜具有緻密性高無針孔的材料特性，因此我對ALD在PERC電池上的抗PID性能並不感到驚奇。我們正在聯合微導客戶和合作單位，加快相關技術的產業化，推動採用ALD技術的抗PID電池儘快投入市場。」

微導成立於2015年底，從2016年上半年開始正式投入運作。截至去年，微導ALD設備市場佔有率達到80%。目前，有超過20家電池廠商採用微導的ALD設備及技術，累計出貨超過140多臺。數據顯示，微導總裝機量在全球背鈍化部分是全球第一，現在總裝機量已經接近40GW。

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