Plessey購買GEMINI晶圓鍵合系統 將擴大MicroLED製造

2021-01-12 電子發燒友
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Plessey購買GEMINI晶圓鍵合系統 將擴大MicroLED製造

工程師吳畏 發表於 2018-11-16 15:10:08

據悉，英國光電子技術解決方案的領先開發商Plessey Semiconductor日前表示，已從晶圓鍵合和光刻設備生產商EVG購買了GEMINI晶圓鍵合系統。

該公司計劃使用該系統擴大其GaN-on-Si MicroLED的製造。Plessey表示，GEMINI生產晶圓鍵合系統將在Plessey位於英國普利茅斯的製造工廠展開粘合和校準的工作。與此同時，該系統還可將其GaN-on-Si MicroLED陣列與晶圓級背板緊密結合，具有極小像素尺寸所需的高對準精度。

EVG表示，其獲得專利的SmartView ® NT自動鍵合對準系統技術可實現晶圓的正面對準，具有極高的精度。

此外，其GEMINI自動化生產晶圓鍵合系統實現了最高水平的自動化和流程集成。該全自動平臺可實現晶圓到晶圓對準以及提供高達300mm的晶圓鍵合工藝，適用於批量生產。

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