金屬氧化物半導體場效電晶體(MOSFET)在結構上以一個金屬—氧化物層—半導體的電容為核心(現在的金屬氧化物半導體場效電晶體多半以多晶矽取代金屬作為其柵極材料),氧化層的材料通常採用二氧化矽,其下是作為基極的矽,而其上則是作為柵極的多晶矽。
這樣的結構正好形成一個電容器,氧化層為電容器中介電質,而電容值由氧化層的厚度與二氧化矽的介電係數來決定。柵極多晶矽與基極的矽則成為MOS電容的兩個端點。
當一個電壓施加在MOS電容的兩端時,半導體的電荷分布也會跟著改變。
累積
考慮一個p型的半導體(空穴濃度為NA)形成的MOS電容,當給電容器加負電壓時,電荷增加。
耗盡
相反,當一個正的電壓VGD施加在柵極與基極端時,空穴的濃度會減少(稱為「耗盡」),電子的濃度會增加。
反型
當VGB夠強時,接近柵極端的電子濃度會超過空穴。這個在p-type半導體中,電子濃度(帶負電荷)超過空穴(帶正電荷)濃度的區域,便是所謂的反轉層(inversion layer)。
MOS電容的特性決定了金屬氧化物半導體場效電晶體的工作特性,但是一個完整的金屬氧化物半導體場效電晶體結構還需要一個提供多數載流子(majority carrier)的源極以及接受這些多數載流子的漏極。
來源:OFweek維科號 作者:博科觀察
The end