在晶片的晶圓代工完成後與封裝完成前，往往還需要用到探針卡(probe card)做功能測試。隨著晶片的工藝越來越先進，以及新的MEMS層出不窮，探針卡這種以前很多家供應商可以提供的業務，在新的工藝時代，變成了少數企業才能完成。這其中就包括一家總部位於美國加州矽谷的公司：FormFactor。隨著大陸半導體製造與晶圓代工產業越來越發達，電子工程專輯記者日期在矽谷專門拜訪了這家公司的高管FormFactor 公司CEO Mike Slessor博士和市場資深副總裁Amy Leong，以了解這種非常先進的半導體測試設備與材料供應商，同時也聽取他們對於中國市場的看法。
圖為 FormFactor 公司CEO Mike Slessor博士和市場資深副總裁Amy Leong在公司接受電子工程專輯的專訪
FormFactor 公司CEO Mike Slessor博士介紹，FormFactor公司成立於1993年，最早是一個位於紐約Elmsford的MEMS實驗室，由IBM的前研究員Igor Khandros先生創立，專門為半導體製造提供插座、封裝和探針卡。在過去的20多年中，公司的業務隨著半導體工藝的發展而不斷創新。在2012年FormFactor公司收購MicroProbe公司，2016年6月FormFactor完成對Cascade Microtech的收購後，FormFactor已經成為全球先進的SoC和存儲器探針卡供應商。
圖為較早幾代的CPU 探針卡的產品實物圖。在CPU的DIE被封裝之前，需要用這樣的探針卡來做測試。
「2016年我們的營業收4.56億美元，全球有約1500名員工，其中約500名員工是直接面對面服務我們的客戶。我們是市場上最大的探針卡供應商，佔有34%的市場份額，是最近的競爭對手的兩倍，是最大的MEMS探針卡供應商，約佔市場份額四成，同樣是最近的競爭對手的兩倍。在VLSI客戶滿意度調查中連接三個排名第一。」 Mike Slessor博士簡單地向電子工程專輯介紹了FormFactor公司。
作為一家半導體生產製造的工具提供商，FormFactor有什麼樣的獨特優勢？「我們的優勢是能夠在實驗室階段就為客戶提供晶圓測試測量的解決方案，我們與客戶同步地開發最新的生產工藝，」 FormFactor 公司市場資深副總裁Amy Leong回答道。在工藝最為先進的SoC、DRAM和NAND晶片中，FormFactor在自己的工廠裡，為這些晶片客戶製造出業界最先進的探針卡。
上圖為FormFactor為不同的晶片提供著不同工藝的探針技術。在過去的兩次大的收購中，MicroProbe和Cascade Microtech兩家公司的技術對於不斷保持行業領先的地位起了重要的作用。
從這張圖可以了解Cascade的探針系統，涵蓋的在不同工藝與應用中的測試技術，其包括LED測試、功率器件、高頻晶片、光電晶片等測試。Imec和Cascade Microtech開發出第一款應用在先進的3D晶片上的全自動探針系統，可應用在300毫米晶圓上的3D晶片測試，該工具還獲得了2017 NI 年度工程影響大獎。電子工程專輯也有幸在現場見證該項大獎的頒獎儀式。
圖為FormFactor的探針卡產品線
Mike Slessor表示，FormFactor 公司擁有廣泛而完成的產品線，同時在亞洲的中國大陸、臺灣、韓國、日本和新加坡等地都設有維修中心、銷售辦公室、製造工廠以及研發中心，可以為客戶提供非常好的供應與售後服務。
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