日本電子發布解析度達53pm球差電鏡JEM-ARM300F2

儀器信息網訊 2020年02月14日，日本電子（JEOL Ltd.）總裁兼營運長Izumi Oi宣布發布全新原子解析度分析電子顯微鏡JEM-ARM300F2（GRAND ARM™2），該電子顯微鏡將於2020年2月發布。

■ 產品開發背景

在電子顯微鏡技術領域，電鏡學者和工程師們始終在追求解析度的提高。與此同時，JEOL也在努力提高透射電子顯微鏡（TEM）的穩定性，並將像差校正技術與這些努力相結合，已成功實現了超高的解析度。

此前JEOL在2014年發布的JEM-ARM300F（GRAND ARM™）是一款原子解析度的TEM，致力於實現一流的解析度。但是，現代TEM的需求不僅包括對硬質材料的表徵，還包括對軟質材料的表徵。在這種情況下，TEM用戶希望進一步提高解析度和分析精度。

此背景下，JEOL開發了一種全新TEM，即JEM-ARM300F2（GRAND ARM™2），可以滿足用戶的以上需求。這款超高原子解析度分析TEM具有許多特點。特別是，藉助新的物鏡極靴「 FHP2」，GRAND ARM™2實現了超高原子解析度成像與同類最佳大立體角EDS元素分析的最佳組合。

GRAND ARM™2的標準配置包括可減輕外部幹擾的外殼，從而提高了儀器的穩定性。

■ 主要特點

1 超高空間解析度與高靈敏度X射線分析的最佳組合。

新開發的FHP2物鏡極靴的特點如下：

1）與之前的FHP相比，FHP2提供了更高的X射線檢測效率（1.4sr），是FHP的兩倍以上。

2）低光學係數，低Cc係數和低Cs係數使得超高空間解析度和高靈敏度X射線分析能夠在一定範圍的加速電壓下執行。

（保證的STEM解析度：300kV時53pm，80kV時96pm）^*

*在配置STEM擴展軌跡像差（ETA）校正器時

2 用於物鏡的寬間隙極片（WGP）可以進行超高靈敏度的X射線分析。

該磁極片在上磁極和下磁極之間具有較大的間隙，具有以下優點：

1）WGP可使大面積的SDD（矽漂移檢測器）靠近樣品，從而實現超高靈敏度的X射線分析（總立體角為2.2 sr）。

2）WGP可以容納更厚的樣品架，從而可以進行各種類型的原位實驗。

3 JEOL開發的球差（Cs）校正器已集成到顯微鏡柱中，並提供了超高的空間解析度。

1）結合FHP2，GRAND ARM™2在300 kV時的STEM解析度達到53 pm。

2）結合WGP，GRAND ARM™2在300 kV時的STEM解析度達到59 pm。

3）JEOL COSMO™（校正系統模塊）使快速，輕鬆執行像差校正成為可能。

4 標配冷場發射槍（Cold-FEG）。

GRAND ARM™2配備了Cold-FEG，可從電子源提供較小的能量散布。

5 減輕外部幹擾的外殼

這種新外殼是減少外部幹擾（例如氣流，室內溫度變化和噪音）的標準。

■ 主要規格

保證解析度	HAADF-STEM圖像：53pm（帶ETA校正器和FHP2） 電子槍：冷場發射槍（Cold-FEG）
加速電壓	標準：300kV和80kV
能量色散X射線光譜儀	大面積SDD（158mm 2）：可以使用雙探測器 立體角：1.4sr（帶FHP2）