新品| Zygo發布「上視」結構的立式雷射幹涉儀

Vertical Test Station VTS

「上視」結構的立式雷射幹涉儀！

菲索式雷射幹涉儀，測試時最常見為臥式配置；具有結構簡單，附件少；測試適用性，靈活性好的優點。

在很多場合，立式配置也很常見；立式測樣具有樣品裝夾效率高，結構更穩定，抗振性更好的優勢，非常適用於光學生產時在現場使用。

ZYGO VTS 立式雷射幹涉儀，採用主機在下的「上視」配置，整體重心配置更加合理，穩定，裝夾樣品效率更高。

VTS 系統整合了氣浮抗振系統，以及1um解析度，1米行程的Z軸導軌；配合ZYGO專利QPSI抗振移相技術，基於Mx軟體，用於測試球面面形及曲率半徑參數。

「上視」配置還有一個特殊優勢，樣品在夾具支撐下，得益於樣品自身重力，可以保證球面幹涉腔的良好「復位」性，如上圖。

基於這一良好位置復現特點，「上視」配置幹涉儀能以類似經典「辨識樣板光圈」的方式，通過比對樣品和「樣板」的POWER差異，高效測試曲率半徑。

如以上公式，先測試標準樣板，儘量調整到「零」條紋；然後保持機構與夾具穩定不變，更換為樣品，放置於夾具支撐之上。直接測試樣品面形；基於兩次測試的POWER差異，就能計算出樣品相對於樣板的「曲率半徑誤差」。

這一測試，類似於經典的「樣板光圈法」，將曲率半徑絕對測量過程，轉變為基於樣板的相對測量，極大地提高了曲率半徑測試效率。

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關於翟柯

翟柯（簡稱：ZYGO）是阿美特克集團超精密測量部門成員，專業設計與製造精密測量儀器和光學系統，基於光學幹涉原理的計量檢測系統能夠在納米甚至亞納米範圍內測量部件形貌和光學波面，產品廣泛用於半導體、光學製造通訊、航天、汽車製造和消費電子等生產及科研領域。

阿美特克是電子儀器和機電設備的全球領導者，年銷售額約為50億美金。為材料分析、超精密測量、過程分析、測試測量與通訊、電力系統與儀器、儀表與專用控制、精密運動控制、電子元器件與封裝、特種金屬產品等領域提供技術解決方案。全球共有18,000多名員工，150多家工廠，在美國及其它30多個國家設立了100多個銷售及服務中心。

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