XRF、EDX、EDS，作為最常見的元素分析儀器，它們之間有什麼區別呢？
XRF指的是X射線螢光光譜儀；
EDX指的是能量散射型X射線螢光光譜儀，也有人叫EDXRF；
EDS是能譜儀。
1）XRF的應用
a) X射線用於元素分析，是一種新的分析技術，但在經過二十多年的探索以後，現在已完全成熟，已成為一種廣泛應用於冶金、地質、有色、建材、商檢、環保、衛生等各個領域。
b) 每個元素的特徵X射線的強度除與激發源的能量和強度有關外，還與這種元素在樣品中的含量。
c) 根據各元素的特徵X射線的強度，也可以獲得各元素的含量信息。這就是X射線螢光分析的基本原理。
優點:
a) 分析速度高。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
b) X射線螢光光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關係。（氣體密封在容器內也可分析）但是在高解析度的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線範圍內，這種效應更為顯著。波長變化用於化學位的測定。
c) 非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反覆多次測量，結果重現性好。
d) X射線螢光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。
e) 分析精密度高。
f) 制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
缺點：
a）難於作絕對分析，故定量分析需要標樣。
b）對輕元素的靈敏度要低一些。
c）容易受相互元素幹擾和疊加峰影響。
其實是一樣的，但是美國人一般叫EDS，英國人一般叫EDX，國內叫EDS的多。
2）EDX也是屬於XRF的能量色散型，還有種WDX波長色散型，不過現在市面上多是EDX。
XRF用的物理原理，通過X射線穿透原子內部電子，由外層電子補給產生的能量差來判斷屬於何種元素。所以它只能測元素而不能測化合物。
ICP則需要對樣品進行溶解，採用的是化學方法，測試的是樣品的溶液，它的精確度和準確度當然比XRF要高了。
WDXRF的X射線螢光出來後通過分光晶體分光，通過不同的波長逐一檢測。
EDXRFX射線螢光出來後直接被檢測器收集，通過數模轉換得到結果。EDXRF體積小，價格相對較低，檢測速度比較快，但解析度沒有WDXRF好。