在真空滲氮過程中,由於模具表面的吸咐的其它氣體和粘附物會被「抽氣」時抽走並排出爐外,鋼表面的活性大大提高,促進了對滲氮過程中活性氮原於的吸收,加快了滲氮的過程。此外,普通氣體滲氮加熱之前要先通入NH3排除爐內的非滲氮氣氛,尤其是氧化性氣氛,但爐內仍會有少量氧化性氣氛,即使是高純氣體,其中也含有0.1的雜質。而在1.33Pa的真空中,雜質含量只有0.001。可見,真空滲氮的淨化作用有兩方面,一是可淨化工件表面,二是可淨化爐內氣氛。
另外,與離子滲氮相比,真空滲氮有以下特點:一是滲氮溫度均勻易控制,而離子滲氮時工件依靠正離子的轟擊而被加熱,溫度的測量和控制都存在一定的困難;二是滲氮表面質量高,離子滲氮過程中,正離子不斷轟擊工件表面,在表面產生許多小坑,尤其當電流大時這種現象就更嚴重;三是工件滲氮層分布均勻,尤其是形狀複雜和帶小孔的工件在離子滲氮時是很難得到均勻一致的滲氮層,真空滲氮由於間隙式抽氣。
爐內氣氛較普通氣體滲氮時流動更均勻,保證了工件各部位都能得到均勻一致的滲氮層。