理想能源推出創新新在線PECVD系統

2020-11-22 世紀新能源網

理想能源設備(上海)有限公司致力於開發和大規模生產太陽能電池製造設備,為薄膜太陽能電池製造商提供性能最先進、價格最具競爭力、配置靈活的高端製造設備和生產線解決方案服務。公司由20多名20年以上從業經驗的國際化的團隊管理,成員均曾任職於國際知名半導體設備製造企業,專業齊全、經驗豐富、長於創新、精於管理。

公司業已投入量產的非晶/微晶疊層矽基薄膜太陽能電池製造設備:低壓化學氣相沉積(LPCVD)設備和等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)設備穩定可靠、性能優異、產能領先。經過內部馬拉松試驗和客戶生產線上的驗證,設備的各項指標都達到了世界先進水平。

理想能源最新推出了在線式PECVD設備,可適用於異質節晶體矽太陽能電池的生產或研發,其穩定、可靠的特性尤其適用於高質量異質節晶體矽電池的生產。和傳統設備相比,

在線式PECVD設備具有如下優勢:

1.創新的在線式鑲嵌式沉積腔設計:在保證薄膜高質量、高重複性、高均一性、低損傷的同時,實現高產能(單腔在線設備產能>1200片/小時);

2.可疊層的產能倍增設計:為適應客戶高產能要求,可實現在線式多層疊加沉積腔設計,產能亦可根據反應腔層數實現倍增;

3.甚高頻技術(VHF:40MHz):甚高頻技術能夠有效降低等離子對基片表面的損傷;

4.優化的曲面電極與電介質層:解決了引入甚高頻技術所帶來的駐波效應和邊緣效應的問題,使設備在低功率密度下依然保持均勻的電場分布,保證了非晶矽薄膜的低速、均勻、高質量生長;

5.無移動元器件等離子體射頻功率匹配系統:傳統的射頻系統匹配時間約 1-3 秒,其過程具有不確定性。而我司自主研發的無移動元器件等離子體射頻系統匹配時間≤0.5 秒,特別適用於高質量異質節晶體矽電池對界面鈍化過程重複、穩定、可靠性高的要求;

6.鑲嵌式沉積腔設計:沉積腔鑲嵌在真空腔內,上下基板均有獨立的加熱和冷卻系統,使得沉積腔環境清潔、溫度均勻性高。

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