康熙帝總計五次巡遊五臺山。第一次為康熙二十二年也就是1683年二月十二日至三月初六日，計25天。拜佛進香，為秋季太皇太后巡視五臺山做準備。本次出巡命皇太子胤礽隨駕啟行。第二次是1683年九月十一日至十月初九日，計28天。奉太皇太后進香，拜佛還願。太皇太后，即康熙帝祖母孝莊文皇后博爾濟吉特氏，她出生於科爾沁蒙古，在清朝皇位繼承、輔助幼帝等方面功勞卓著，時年71歲。
第三次為康熙三十七年正月二十七日至二月二十三日，計26天。進香禮佛，歸途巡視渾河河堤。本次出巡命皇長子胤禔、皇三子胤祉隨駕。第四次為康熙四十一年正月二十八日至三月初一日，計33天。進香，巡視永定河、子牙河。本次出巡，命皇太子胤礽、皇四子多羅貝勒胤禎、皇十三子胤祥隨駕。第五次為康熙四十九年二月初二日至三月初五日，計34天。進香禮佛，巡視民情。本次巡遊命皇太子胤礽、皇三子和碩誠親王胤祉、皇八子多羅貝勒胤禩、皇十子多羅敦郡王胤、皇十三子胤祥、皇十四子固山貝子胤禵隨駕。
在這五次巡遊五臺山之中，最能表現出巡遊意義的是康熙二十二年的巡遊，由於首次巡遊五臺山是為了第二次太皇太后出巡做準備，所以這兩次離得很近，均在康熙二十二年進行。康熙二十二年的巡遊五臺山，如果聯繫到前一年康熙帝東巡盛京、吉林謁陵祭祖，部署邊務，慰撫蒙古；再聯繫到後一年巡狩泰山，南巡江南，於江寧謁明太祖陵，至曲阜祭祀孔子，同年還出巡了畿甸，就會感到二十二年巡遊五臺山不同尋常，應當是這前後一系列活動中的一環。
元明以來，五臺山成為藏傳佛教的聖地，在清代，五臺山最重要的廟宇菩薩頂改為喇嘛廟，以其為首形成了黃廟體系。康熙帝五次巡遊五臺山，進香禮佛，以綏服信仰喇嘛教之蒙古，意在調適滿、蒙、藏、漢四者的關係。此外，清帝與五臺山的聯繫點，在於清帝被藏傳佛教認定為文殊菩薩的化身，意味著正式承認清帝對中國的統治，而五臺山則是文殊菩薩的道場。康熙帝五臺山禮佛，不僅是為民祈福，而且是為太皇太后、皇太后祈壽，為本人祈求福佑。
五臺山是中國內地藏傳佛教喇嘛教的重要場所，康熙皇帝五次巡遊五臺山，進香禮佛，構成了與其他出巡五方有所不同的帶有宗教色彩的類型。由於順治帝出家五臺山的傳說，更為五臺山塗上了神秘的色彩。康熙帝之後，乾隆、嘉慶兩位皇帝也多次巡遊五臺山，儼然形成清朝家法。
清帝資助並造訪五臺山的主要原因是意圖在蒙古人中間散播「文殊菩薩即皇帝」的信念。