荷蘭巨頭7nm晶片設備亮相進博會!EUV光刻機還未獲準對華供應

2020-12-01 騰訊網

11月4日，第三屆中國國際進口博覽會正式開幕。日經中文網的報導指出，今年進博會總共有將近2600家企業參展，來自超過100個國家和地區。除了熟悉的通用、微軟、豐田等企業以外，荷蘭光刻機生產商阿斯麥（ASML）的亮相也備受關注。

據IT之家最新報導，11月5日當天，阿斯麥在我國進博會上展出了DUV光刻機，不過，截至目前該司在全球的「搶手貨」EUV光刻機，依然無法對中國出口。此次亮相進博會的DUV光刻機，可用於生產7nm及以上製程晶片。

都知道，光刻機是製造晶片的關鍵核心設備，對於7nm甚至5nm等製程的高端晶片生產來說，光刻機的級別更是至關重要。據報導，除了光刻機以外，阿斯麥還帶來了一整套光刻解決方案，包括先進控制能力的光刻機臺計算光刻和測量通過建模、仿真、分析等技術，讓邊緣定位精度不斷提高。

早在2018年初，我國晶片生產大戶中芯國際就找來阿斯麥訂購了價值1.2億美元（折合約7.9億元人民幣）的EUV光刻機。按照原計劃，中芯國際與阿斯麥達成採購訂單後，2019年底就要交付，然後再2020年完成安裝程序。然而，因為美國幹預以及疫情因素等種種原因，中芯國際購買的這臺EUV光刻機至今沒有「送貨上門」。

眼下，在EUV光刻機以外的其他領域，阿斯麥都十分樂意與中國擴大合作。10月14日當天，阿斯麥財務長Roger Dassen公開指出，根據美國的升級的出口禁令，如果阿斯麥從荷蘭向中國買家供應DUV光刻系統，無需出口許可證；但是涉及到美國零部件參與生產的設備，就還是要按照美國的規定辦事。

與此同時，我國自己也已將製造光刻機的事項提上日程。今年9月中旬，科研國家隊選手——中科院公開表示，接下來將鑽研關鍵的核心技術，著手解決我國光刻機、高端晶片等方面的生產難題。

文 |廖力思 題 |徐曉冰 圖 |饒建寧 盧文祥 審 |陸爍宜

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