松山湖材料實驗室：自主設計建設的SiC外延片研發產線通過驗收
2020-08-28 化合物半導體市場
據化合物半導體市場了解，昨（13）日松山湖材料實驗室官方微信公眾號發布消息稱其自主設計建設的SiC外延片研發產線通過驗收！
根據松山湖材料實驗室透露，這條自主建設的SiC外延片研發產線歷經近兩年的努力。7月底，驗收專家組對團隊的外延設備及外延片質量進行了技術驗收。
驗收結果表示，該外延設備的生長速度可達30-60微米/小時。對100微米外延片，其背景載流子濃度低於1×1014cm-3，表面粗糙度低於0.25 nm，膜厚均勻性偏差優於1%，載流子濃度均勻性偏差優於7%，表面缺陷密度最低可達0.05/cm2。
圖片來源：松山湖材料實驗室
驗收專家組認為SiC及相關材料團隊所生產的SiC外延片已經滿足各項驗收指標，松山湖材料實驗室已經具備對外提供合格SiC外延片的能力。
目前高質量的SiC厚膜外延技術被Cree（美國）、英飛凌（德國）、昭和電工（日本）等國際著名公司壟斷。松山湖材料實驗室的SiC外延設備順利驗收和研發產線的成功建成也標誌我國在Sic外延上的技術突破，大力發展SiC厚膜外延技術可彌補我們與國外的技術差距，避免在材料上形成新的「卡脖子」問題，為我國第三代半導體產業的快速發展提供有力支撐和保障。
文稿來源：化合物半導體市場整理
相關焦點
-
第三代半導體產業的關鍵材料——SiC外延片研發產線通過驗收，由松山湖材料實驗室自主設計建設
SiC外延片是第三代半導體產業的關鍵材料。目前高質量的SiC厚膜外延技術被Cree（美國）、英飛凌（德國）、昭和電工（日本）等國際著名公司壟斷。大力發展SiC厚膜外延技術可彌補我們與國外的技術差距，避免在材料上形成新的「卡脖子」問題，為我國第三代半導體產業的快速發展提供有力支撐和保障。松山湖材料實驗室陳小龍研究員帶領的SiC及相關材料團隊克服諸多困難，歷經近兩年的努力，成功建設了一條SiC外延工藝研發產線。2020年7月29日，在實驗室科研項目管理部組織下，驗收專家組對團隊的外延設備及外延片質量進行了技術驗收。 -
聚焦新材料研發需求,松山湖材料實驗室助力企業創新技術提升
12月10日，由松山湖材料實驗室公共技術平臺與浙江工業大學廣東群欣研究院聯合舉辦的第一期企業研發需求交流對接會在松山湖國際創新創業社區舉行。 -
姑蘇實驗室與松山湖材料實驗室誰更強？
早在2018年，廣東省立志於打造「國家級材料實驗室」，投資120億，建立了東莞松山湖材料實驗室。松山湖材料實驗室核心板塊之一公共技術平臺著眼於建設世界一流的材料科學研究基地，重點建設中子科學平臺、材料製備與表徵平臺、微加工與器件平臺、材料計算與資料庫等多個子平臺。 -
「秒殺」新冠病毒，松山湖材料實驗室第三代半導體團隊開發出高功率密度深紫外光源
針對以上問題，松山湖材料實驗室第三代半導體材料與器件團隊聯合北京大學、中國醫學科學院，自主研發實現了高功率密度的深紫外集成光源模組，並成功驗證光源對新型冠狀病毒的超快速殺菌效果。>高性能UVC LED集成的高功率密度深紫外光源高功率密度深紫外光源研發工作覆蓋上遊材料外延 -
東莞:松山湖材料實驗室成功研發口罩新型濾材
近日，松山湖材料實驗室攻克多項技術難題，成功研發用於高性能防護口罩濾膜的電紡納米纖維膜，製備出滿足應用要求的納米纖維濾材，經第三方權威機構廣州檢驗檢測認證集團有限公司（國家認證）檢測過濾指標滿足KN95口罩GB 2626-2006國家標準，將為解決目前抗疫所遇到的困難提供新的解決途徑。 -
松山湖材料實驗室培養首位博士後出站！
松山湖材料實驗室作為廣東省首批建設的省實驗室之一，啟動以來迅速聚集起包括院士在內的一大批高水平人才，發揮出強大的「磁吸效應」。如今，通過多樣化的培育機制，實驗室也成為了許多優秀青年學者成長和成才的搖籃。推動新型鋰電材料產業化「從讀研究生開始，就想沉下心來做一些研究，而且我的性格也屬於能沉得住氣，就喜歡在實驗室待著。」詹元傑畢業於中國科學院大學，博士後期間，他選擇了從北京來到材料實驗室，專門從事新型鋰離子電池的開發工作。 -
2020年松山湖功能區投資推介會④|松山湖功能區,投資興業的熱土
記者了解到，項目分布範圍覆蓋松山湖高新區及周邊九鎮，產業類型包括電子信息、雲計算、機器人、新材料、文旅開發、健康醫療、食品等多個領域，將更有力促進松山湖功能區補鏈強鏈。其中，此次籤約落地的阿里雲項目，將建設包含伺服器集成、自維保、自倉儲、自動化於一體的獨立產線，同時包含伺服器研發、可靠性實驗室等，達產後預計年產量約50億元。 -
松山湖材料實驗室探索「產學研」新路徑:跨越實驗室到生產線的死亡谷
但現在陳東敏大部分時間都在東莞度過，因為這裡是國內最具潛力的新材料研發南方基地。中國科學院院士王恩哥擔任松山湖材料實驗室理事長，他透露目前實驗室已引進各類人才近800人，包括兩院院士10人，承擔國家自然科學基金、國家重點研發計劃等46項。 -
松山湖材料實驗室創新樣板工廠：教授「下海」激起產業「浪花」
這是材料實驗室創新團隊科研實力及推進成果轉化能力的縮影。作為廣東省首批啟動建設的省實驗室之一，松山湖材料實驗室建設之初，就把發力點聚焦在材料領域技術的成果轉移轉化上。通過設立創新樣板工廠平臺，促進國際、國內領先水平的科研成果實現產業化，2年來，引入兩批共18個高水平研究團隊，包括新能源、半導體、先進位造等一批「硬科技」產業化項目。 -
廣東省實驗室建設駛入「快車道」
日前，位於佛山的季華實驗室（先進位造科學與技術廣東省實驗室）迎來重大進展：實驗室科研園區一期項目提交驗收，預計下半年即可正式進駐；深圳灣實驗室（生命信息與生物醫藥廣東省實驗室）也在前不久公布了最新進展：揭牌成立僅約一年，已組建49支科研團隊，集聚了數十位國內外頂尖科學家參與實驗室建設。 -
我國首個超材料技術國家重點實驗室通過驗收
人民網深圳12月2日電（王星）日前，依託深圳光啟高等理工研究院建設的超材料電磁調製技術國家重點實驗室（以下簡稱「實驗室」）成功通過驗收。這是我國第一個超材料技術的國家重點實驗室，也是全國177家依託企業建設的國家重點實驗室之一。 -
西南交通大學建設的首個國家工程實驗室通過驗收
西南交通大學建設的首個國家工程實驗室通過驗收 ——陸地交通地質災害防治技術國家工程實驗室進行了驗收。 -
院士說丨陳和生：在松山湖畔，偶遇世界級科學家將不再意外
中國科學院院士、中國散裂中子源工程總指揮陳和生躬耕松山湖數十載，成功建設了「國之重器」——中國散裂中子源（CSNS）。這一研究物質微觀結構的「超級顯微鏡」，運行以來，通過服務全球用戶，已經完成超過200項關鍵課題研究，成為重要的原始創新策源地。「中國散裂中子源在支持粵港澳大灣區建設國際科技創新中心的過程中，正日益發揮著不可替代的特殊作用。 -
投資2.4億元,大普通信重磅項目松山湖動工
廣東大普通信技術有限公司總部及研發中心大樓項目工程6月22日在松山湖舉行奠基儀式，該項目集運營總部、研發中心、中央研究院三大功能於一體，整體佔地約20畝，總投資約2.4億元，未來將承載該公司業務快速發展，保證其在通信關鍵領域技術的持續突破。松山湖黨工委委員、管委會總經濟師盧鋼，東莞市科技局副局長肖錚勇，市工信局調研員陳杞渭，市金融局調研員黎潔敏，松山湖科技教育局局長梁展鴻等參加了當天的活動。 -
機械研究總院組建的機械工業材料腐蝕與防護重點實驗室通過驗收
近日，機械科學研究總院武漢材料保護研究所組建的「機械工業材料腐蝕與防護重點實驗室」建設項目通過了驗收。 機械工業材料腐蝕與防護重點實驗室由環境腐蝕試驗站和專業研究實驗室兩部分組成：建設的環境腐蝕試驗站有，武漢大氣環境材料腐蝕國家野外科學觀測研究站，庫爾勒大氣環境材料腐蝕國家野外科學觀測研究站等；組建的專業研究實驗室分為，防腐蝕塗覆材料技術實驗室、表面處理技術實驗室等。 -
松山湖科學城：一座冉冉升起的「C位」之城
2018年8月，散裂中子源一期建設通過國家驗收，投入運行。同年年底，東莞市委、市政府決定依託散裂中子源等大科學裝置及松山湖高新區規劃建設科學城。松山湖材料實驗室成立於2018年，是廣東省首批啟動建設的四家省級實驗室之一，由中國科學院院士王恩哥擔任實驗室理事長，致力於將實驗室打造成為具有國際影響力的新材料研發基地、未來國家物質科學研究的重要組成部分、粵港澳交叉開放的新窗口以及具有國際品牌效應的粵港澳科學研究中心 -
喜訊 | 松山湖材料實驗室獲2020年國家自然科學基金資助
9月18日，國家自然科學基金委員會公布申請2020年項目評審結果，松山湖材料實驗室獲批國家自然科學基金各類項目共計松山湖材料實驗室截至目前，實驗室積極承擔國家自然科學基金、國家重點研發計劃、廣東省基礎與應用基礎重大項目、廣東省重點研發計劃等41 -
城鎮汙水深度處理與資源化利用技術國家工程實驗室建設項目通過驗收
城鎮汙水深度處理與資源化利用技術國家工程實驗室建設項目通過驗收北極星水處理網訊:2020年12月28日，城鎮汙水深度處理與資源化利用技術國家工程實驗室建設項目驗收會在北京工業大學水環境樓舉行。北京工業大學副校長聶祚仁院士出席驗收會，會議由北京市發改委高技術處趙英俊處長主持。 -
松山湖材料實驗室獲2020年國家自然科學基金資助
9月18日，國家自然科學基金委員會公布申請2020年項目評審結果，松山湖材料實驗室獲批國家自然科學基金各類項目共計與此同時，實驗室7名雙聘研究員獲得國家傑出青年科學基金。松山湖材料實驗室截至目前，實驗室積極承擔國家自然科學基金、國家重點研發計劃、廣東省基礎與應用基礎重大項目、廣東省重點研發計劃等 -
「先進微結構材料教育部重點實驗室」通過論證
「先進微結構材料教育部重點實驗室」專家論證會日前召開。我校副校長蔣昌俊、校長助理吳廣明參加會議。蔣昌俊代表學校致辭。 專家組由中國工程物理研究院上海雷射等離子體研究所王世績院士、中科院上海光機所所長兼黨委書記李儒新研究員、中科院上海技術物理研究所紅外物理國家重點實驗室主任陸衛研究員等7位專家組成，匯集了國內從事先進微結構材料設計、製備、表徵及應用研究的一流專家學者。