美國禁止出口5納米光刻機技術，我國EUV光刻機無望。
近日，美國商業管制清單新增加了六項新內容：
1，混合增材製造/計算機數控工具；
2， 特定的計算光刻軟體；
3，用於為5nm生產精加工晶圓的某些技術；
4， 有限的數字取證分析工具；
5， 用於監測電信服務通信的某些軟體；
6， 亞軌道太空飛行器。
7納米以下晶片製造的EUV光刻機，包含美國技術。如此看來，我們只能自力更生了！2018年中芯國際向ASML定的EUV光刻機，石沉大海，只有波浪，沒有回音。
前不久，ASML說可以直接從荷蘭出口DUV光刻機給中國，無需任何出口許可。但是相關系統或配件需要從美國出口的話，仍然需要得到美國的許可。其中EUV光刻機，不在「免出口」範圍。
這未免有這樣的猜想：
ASML說：中國快要突破22納米光刻機了，再不賣，到時就不值錢了。我也要生存！
美國說：不擔心！我給你出主意，DUV光刻機隨便賣。設備配件壞時，只能從我這裡出口。到時再限制出口，你錢賺了，我也達到了目的。