關於FMCW系統的另一個問題，是它們比飛行時間脈衝雷射雷達更高的成本和複雜性。「在許多方面，FMCW雷射雷達更加困難，對雷射光源的要求更加嚴格。」Smolka說。兩年半來，Insight LiDAR公司一直致力於FMCW雷射雷達的光子學集成，包括掃頻雷射器、片上放大器和探測器，對10％反射率的物體可以測距到至少200m。
該公司還在推動充滿快速移動的機器人車輛的環境所需的性能。「僅僅能看到200m處的東西是不夠的，」Smolka說，「你必須在其上放置足夠的像素來識別它是什麼，以及它是否是我必須擔心的東西。」為此，它們使用快軸上的固態掃描和慢軸上的機械掃描，以允許感興趣的遠場物體（如行人）的高解析度掃描。
光學相控陣是固態掃描的另一種方法，可用於集成光子學。它們在雷射穿過波導時對雷射進行相位調製，以整形和重定向從陣列輸出端出射的光束。使用集成矽光子學為FMCW雷射雷達製造光學相控陣的第一份報告，來自於2017年由Christopher Poulton領導的麻省理工學院的團隊。他們將光學相控陣添加到了帶有邊緣耦合器的晶片上平衡探測器，用於發射光和接收光，以創建無透鏡的晶片級FMCW雷射雷達。他們選擇1550nm雷射光源通過矽波導進行傳輸，並對頻率先上升後下降地線性啁啾其頻率。他們報告了在46°×36°的範圍內轉向光，但範圍僅限於2m，解析度很低。從那以後，其他人已經報告了更好的集成雷射雷達結果和更長的範圍。
美國SiLC Technologies公司執行長Mehdi Asghari在矽光子學領域具有20年的豐富經驗，他表示，光學相控陣是有吸引力的，因為它們幾乎沒有旁瓣，可以通過一組光學元件進行發送和接收。他說，使用窄線寬雷射器和低噪聲接收器，相控陣雷射雷達可以達到自動駕駛汽車所需的200~300m範圍。他補充說，將1550nm發射的磷化銦增益晶片和鍺器件添加到含有外腔的矽晶片中「擊敗了最昂貴的複雜雷射器」。
Mehdi Asghari介紹說SiLC公司設計最終可以提供人眼安全雷射雷達，距離可達500m。它們已使用4mW雷射達到100m的範圍，並認為它們可以達到50mW下的200m。雷射雷達中的單個雷射核心應該足以滿足大多數短距離車輛應用，並且可以增加更多核心。多核雷射雷達可以使用不同波長的雷射，來識別它們正在測量的東西。該公司計劃向雷射雷達製造商銷售傳感器和處理器，而不是生產自己的雷射雷達。