打開excel文件
對於一種元素的高分辨譜，最關鍵數據有兩列。為結合能（binding energy）和譜峰強度（counts）。
每一頁表格都代表一種元素的高分辨譜圖，其中peak table代表半定量結果數據表。
對於絕緣體或者半導體而言，具有荷電效應，因此除了大家想要測的元素之外，一般測試的時候還需要測一個C的高分辨譜，用於荷電校正。
使用軟體：origin
1. 打開origin，將C1s的數據複製到origin中，做成曲線圖，並通過數據讀取工具來識別C1s譜中的峰值坐標（主要是結合能）。
首先導入數據（複製、粘貼）
然後作曲線圖
通過數據讀取工具來識別C1s譜中的峰值坐標
以上圖為例，C1s的結合能為284.5 eV，而外來汙染碳的標準值為284.8 eV,因此，荷電校正值為284.8-284.5 eV=0.3 eV。也就是說，此次測試的這個樣品，所有元素的結合能均需要+0.3 eV作為荷電校正從而得到準確的結合能值。
2. 對每一個高分辨譜進行荷電校正，將各元素的元素數據（結合能與譜峰強度）導入origin中，以結合能為X軸，譜峰強度為Y軸，將X軸加上荷電校正值對其進行荷電校正。
以Cd3d為例：
首先，導入數據；
然後，選中結合能列,右鍵,set column values,設置Col(A)+0.3,即可.
最後，將校正後的數據複製到TXT文件中.(數據前後無空格,空行)
1. 利用XPS peak軟體導入txt文件
Data→Import(ASCII)→選擇上一步建立的txt文件
2. 建立基線
點擊菜單中Background,在彈出來的窗口中High BE和Low BE的數據是自動讀取的，不需要改變。
Background type一般選取Shirley,基線的優化主要靠Shirley+Linear的Slope來實現，可以手動輸入數值，然後點擊accept就可以看到基線了，如果覺得基線不是特別好，可以通過改變Slope的值進行調整。
3. 加峰
點擊Add peak會彈出一個新窗口，在Peak Type處選擇s、p、d、f等峰類型（根據需要來選，不影響分峰），S.O.S選0.
在Position處輸入希望的峰位，需固定時則點fix前小方框，同法還可選半峰寬（FWHM）、峰面積等。
設置好之後，點擊accept添加該峰。
首先，通過查閱文獻，得知Cd2+的峰位為
404.9（Cd 3d5/2 ） and 411.7 eV（Cd 3d3/2）；
｜參考文獻：
Applied Surface Science 389 (2016) 775–782然後，點擊Add peak→在peak type 處選d（因為Cd的d軌道失電子）
在Position（峰位置）處輸入文獻查到的峰位，需固定時則點fix前小方框，同法還可選半峰寬（FWHM）、峰面積等。設置好之後，點擊accept添加該峰。
然後，添加，第二個峰。
偏差太大，需要優化。
取消對峰位置的固定，半峰寬的固定，進行優化。優化後，固定峰位置及半峰寬。
可以反覆優化。
OK，粗糙的擬合結束。
1. 導出為dat.格式
Export（spectrum）→dat格式
2. 利用Origin處理數據
首先，導入數據，作出曲線圖；
然後，根據個人習慣修改格式。
本期的Cd 3d只有兩個峰，簡單易作。以後有機會作一期多峰擬合。原理基本相同，操作繁複而已。