華海清科CMP設備在中芯國際生產晶圓突破百萬片

2020-11-25 騰訊網

摘要：根據華海清科官方公眾號消息，7月30日，華海清科CMP國產設備在單一客戶中芯國際生產晶圓突破百萬片。

根據華海清科官方公眾號發布的消息，7月30日，華海清科CMP國產設備在單一客戶中芯國際生產晶圓突破百萬片。

據介紹，從2015年8月4日華海清科第一臺設備進入中芯國際，與中芯國際團隊密切合作，深入交流，短短半年通過驗證，迅速取得了多臺CMP訂單。CMP工藝做到了全覆蓋，包括SI，ILD，STI，BSI，W，POLY，Cu，不斷刷新著國產CMP設備在中芯量產破百片、破千片、破萬片，突破百萬片的加速度，同時也打破了CMP設備依靠國外進口壁壘。目前，華海清科CMP設備已批量進入國內各大集成電路生產線。

△在慶祝儀式上，華海清科董事長兼首席科學家路新春從中芯北方總經理張昕手裡接過獎盃

CMP是化學作用和機械作用相結合的組合技術，其工作原理是，旋轉的晶圓以一定的壓力壓在旋轉的拋光墊上做相對運動，藉助納米磨料的機械研磨作用與各類化學試劑的化學作用的高度有機結合來實現平坦化要求。這一過程中應用到的就是CMP設備，所需的材料主要包括拋光液和拋光墊。

根據官網資料顯示，華海清科成立於2013年，是天津市政府與清華大學踐行「京津冀一體化」國家戰略，為推動我國化學機械拋光（CMP）技術和設備產業化成立的高科技企業。華海清科主要從事CMP設備和工藝及配套耗材的研發、生產、銷售與服務，核心團隊成員來自清華大學摩擦學國家重點實驗室及業內專業人才，產品可廣泛應用於極大規模集成電路製造、封裝、微機電系統製造、晶圓平坦化、基片製造等領域。

編輯：芯智訊-林子 來源：華海清科

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