科學網—鎢的配合物可低溫下合成金屬薄膜

2020-11-30 科學網
《無機化學》2008年47卷11期
鎢的配合物可低溫下合成金屬薄膜

 

近年來，人們對金屬薄膜如氮化物薄膜及其製備技術的研究興趣濃厚。製備薄膜的方法有很多種，其中使用揮發性較高的金屬有機化合物為前驅體的沉積方法尤其受到關注。1970年，曾報導過有關過渡金屬二有機基肼配合物，從而使這類化合物作為沉積過渡金屬氮化物的單一前驅物在材料化學學科引起了極大關注。將二有機基肼作為功能團和金屬配位，可以生成沉積金屬氮化物薄膜的可行前驅體。研究中還發現，利用肼配合物製備金屬氮化物薄膜可以降低反應溫度。科學家們已經合成了一些鎢的醯亞胺配合物，並成功地用於氮化鎢和碳氮鎢沉積的單一前驅體。

 

目前，佛羅裡達大學的研究者利用氯化鎢、二有機基肼、乙腈或吡啶的反應製備了鎢的二有機基肼配合物，並詳細研究配合物的晶體結構。通過質譜、熱失重分析、化學氣相沉積等實驗，證實了這些配合物作為沉積氮化鎢和碳氮鎢單一前驅體的可行性。以金屬二有機基肼配合物為有機源前驅體可在較低溫度下合成金屬薄膜，可望在材料合成等方面得到廣泛應用。

 

原文連結：http://pubs.acs.org/cgi-bin/abstract.cgi/inocaj/2008/47/i11/abs/ic701151m.html　　（趙清銳/編譯）

 

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