引起雷射幹涉儀測量誤差的原因分析

2020-11-23 OFweek維科網


線性鏡組安裝距工作檯50cm

實驗結果:按GB/T17421.2《工具機檢驗通則》2000版分析標準得出結果,鏡組安裝高度偏離設備運動軸線越遠,檢測結果中重複精度以及定位精度就越差。

正確方式:設備校準時線性鏡組的安裝高度應該儘量靠近被測軸,使雷射光束與運動軸重合(或儘量靠近),減小阿貝誤差。

擴展:SJ6000雷射幹涉儀用戶在進行兩臺同類設備定位精度的對比時,應該進行同軸比對,即共用線性鏡組,這樣才具有可比性。

相關焦點

  • SJ6000雷射幹涉儀測量五軸工具機平移軸直線度誤差
    在SJ6000雷射幹涉儀動態測量軟體配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲杆導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。雷射幹涉儀最典型的應用就是測量工具機精度,本文講解如何使用雷射幹涉儀測量五軸工具機平移軸直線度誤差。
  • 雷射幹涉儀精度知多少?
    雷射幹涉儀作為現代精密測量儀器的代表,在精密製造、計量等各個行業領域中得到了廣泛的應用,在精密位移、直線度、垂直度等測量領域發揮著重要的作用。什麼是決定雷射幹涉儀測量精度的關鍵因素?您正在使用或購買的雷射幹涉儀精度能夠達到指標要求麼?
  • 中國科學院高能物理研究所多路絕對距離雷射幹涉儀測量系統採購...
    中國科學院高能物理研究所多路絕對距離雷射幹涉儀測量系統採購項目公開招標公告 公告信息: 採購項目名稱 中國科學院高能物理研究所多路絕對距離雷射幹涉儀測量系統採購項目 品目 貨物/通用設備/儀器儀表/分析儀器/其他分析儀器,服務/信息技術服務/信息系統集成實施服務/其他系統集成實施服務,貨物/通用設備/電子和通信測量儀器/綜合測量儀
  • API雷射幹涉儀在測量直線模組中的應用
    這種電機在生產過程中需要對其步長進行檢測和調整從而達到更高的精度指標,我們可以按照設定的運動步長控制直線電機運行,利用雷射幹涉測量每運行一個步長對應的定位誤差;根據定位誤差值建立誤差補償表,並對位置坐標進行修正,再利用修正值控制直線電機運行。
  • 雷射幹涉儀檢測指導
    雷射幹涉儀有單頻和雙頻之分,單頻雷射幹涉儀受環境因素影響較大,一般用於特定環境的實驗室。雙頻雷射幹涉儀應用頻率變化來測量位移,對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,抗幹擾能力強,廣泛應用於各種工況下。雷射幹涉儀的工作原理  雷射幹涉儀發射單一頻率光束,光束射入線性幹涉鏡後分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,最後重新匯聚返回雷射幹涉儀。若光程差沒有變化時,雷射幹涉儀會在相長性和相消性幹涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時,這些變化會被計算並用來測量兩個光程之間的差異變化。
  • 雷射幹涉儀測量五軸工具機旋轉軸精度的方法
    雷射幹涉儀是集光、機、電、傳感技術、信息技術於一體的經典「測控技術」儀器,是迄今公認的高精度、高靈敏度的測量儀器,可以直接對米進行定義,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量,以及進行位移分析、速度分析、加速度分析、FFT分析等動態測量,廣泛應用於先進位造
  • 用雷射粒度儀測量D0和D100的討論
    其次從雷射粒度儀測量過程和原理來分析測D0和D100,也是測不準的。此外,從反演算法的靈敏度及計算誤差導致D0和D100測不準。雷射粒度儀是通過光散射信號結合Mie散射理論計算粒度分布信息。在這個環節中由於各種系統誤差都會導致D0和D100的波動,而且通常在反演算法中都有對數據的平滑處理,也會使D0和D100測不準。反演算法得到的D0和D100可能較真實的或大或小都有可能。
  • 四路雷射跟蹤幹涉三維坐標測量系統
    (1)假設雷射跟蹤幹涉儀的讀數沒有誤差,即長度變動量測量值lij沒有誤差。仿真中採用了20個動點數,初始值偏離真值±500mm左右(按均勻分布給出偏差),迭代精度為1e-10。仿真結果如表3所示。表中數據單位為mm,而殘差平方和單位為mm2。
  • 雷射幹涉儀在數控工具機維修中的應用研究
    對於不同的數控工具機,檢測的曲線各不相同,其完善的軟體功能通過對不同的曲線進行分析,能夠將影響工具機精度的原因列出來,數控工具機維修人員能夠很直觀通過分析圖形和數據,了解到工具機在哪些方面存在誤差,這樣就為調整和數控工具機維修提供了充分的數據支持和指導,大大縮短數控工具機維修時間,提高數控工具機維修的效率。
  • 雷射幹涉儀與白光幹涉儀區別!
    經常有客戶來電,說要諮詢幹涉儀,看到中圖儀器有雷射幹涉儀和白光幹涉儀,不知道哪一款可以滿足自己的需求?雷射幹涉儀和白光幹涉儀雖然都同屬於幹涉儀這個大類,但是兩者的區別可大了!雷射幹涉儀雷射幹涉儀測量利用的是麥可遜幹涉原理:(1) 從SJ6000雷射幹涉儀主機出射的雷射束(圓偏振光)通過分光鏡後,將分成兩束雷射(線偏振光);(2) 兩束雷射分別經由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射後平行於出射光(紅色線條)返回,通過分光鏡後進行疊加
  • 麥可遜雷射幹涉儀和菲索型雷射幹涉儀,別弄混了
    有很多客戶通過網絡搜索到我們的聯繫方式,說需要一臺雷射幹涉儀,詳細溝通一下,他們需要雷射幹涉儀測量面型精度、PV值等,其實他們需要的不是雷射幹涉儀,準確的說應該是菲索型雷射幹涉儀。
  • 雷射幹涉原理在振動測量中的應用
    由於雷射的方向性、單色性和相干性好等特性,使雷射測量技術廣泛應用於各種軍事目標的測量和精密民用測量中,尤其是在測量各種微弱振動、目標運動的速度及其微小的變化等方面。1. 雷射幹涉測振原理  雷射幹涉測振技術是以雷射幹涉原理為基礎進行測試的一門技術,測試靈敏度和準確度高,絕大部分都是非接觸式的。
  • 長春光機所:通過校正阿貝誤差,把光柵衍射波前質量提高70%
    中國科學院長春光機所萬秋華研究員課題組根據大面積高精度衍射光柵刻劃機CIOMP-6的機械結構和測量光路的特點,分析了測量阿貝誤差產生的原因,提出了一種測量阿貝誤差的控制校正方法,設計了阿貝誤差的測量光路,有效地解決了阿貝誤差對光柵衍射波前質量的影響。具體研究成果發表在中國雷射第九期。
  • 我研發成功高端雷射幹涉測量儀器
    科技日報北京6月4日電 (記者馬愛平)「針對光刻機等苛刻測量環境中實現多自由度幹涉測量的需求,我們提出了基於稜鏡誤差矢量分析的單體集成多軸幹涉儀組件設計方法,研發出從2軸到5軸的系列化單體式多軸幹涉儀組件,打破了國外企業的壟斷和對我國的出口限制。」4日,清華大學長聘教授、精密儀器系學術委員會主任李巖告訴記者。
  • 雷射幹涉儀在數控工具機定位的應用
    8、花瓣形  圖3所示的誤差隨時間和間隔不斷增加使線出現花瓣形。導致花瓣形的可能原因有:(1)在材料溫度傳感器定位不正確或者膨脹係數不正確。(2)滾珠絲槓在測試期間溫度進步、工具機溫度改變。  圖3 花瓣形誤差曲線  為保證測試的精確度,建議在開始校準之前要讓工具機完全預熱。
  • 中國研發成功高端雷射幹涉測量儀器
    「針對光刻機等苛刻測量環境中實現多自由度幹涉測量的需求,我們提出了基於稜鏡誤差矢量分析的單體集成多軸幹涉儀組件設計方法,研發出從2軸到5軸的系列化單體式多軸幹涉儀組件,打破了國外企業的壟斷和對我國的出口限制。
  • 雷尼紹推出全新輕型雷射幹涉儀測量系統
    但是近年來隨著自動化運動系統性能大幅提高,面對半導體和傳統金屬加工業的需求,現有雷射系統的性能已無法滿足一些客戶的要求。       Renishaw的新型XL-80雷射幹涉儀能夠滿足和超越實際工業規範水平
  • 雷射幹涉儀引力波探測器的基本光學結構
    作為一種大型的精密光學儀器並作為引力波天文學研究的關鍵設備,雷射幹涉儀引力波探測器已在世界各地蓬勃發展起來,開闢了引力波探測的新時代。給出了雷射幹涉儀引力波探側器的工作原理和基本光學結構,討論了主要的性能參數,分析了光學鏡的結構特點及測量方法。
  • 潤滑劑特性的雷射幹涉法測量
    同時,潤滑減少了由於粘附作用引起的工件表面的損傷,提高了產品質量,延長了模具壽命。金屬薄板成型的精確塑性分析,常依據一種含糊而使人誤解的摩擦條件假設。其分析結果幾乎無任何實用意義,尤其對那些工藝結構性能較差的工件,更是如此。  在簡單的拉伸成型工藝中,廣泛採用的流體潤滑理論是由Wilson和Waog提出的。該理論認為,潤滑膜是由在衝頭和薄板結合處的邊緣所形成的楔形入口帶產生的。
  • 清華大學成功研發用於光刻機的高端雷射幹涉測量儀
    「針對光刻機等苛刻測量環境中實現多自由度幹涉測量的需求,我們提出了基於稜鏡誤差矢量分析的單體集成多軸幹涉儀組件設計方法,研發出從2軸到5軸的系列化單體式多軸幹涉儀組件,打破了國外企業的壟斷和對我國的出口限制。」4日,清華大學長聘教授、精密儀器系學術委員會主任李巖告訴記者。