基於懸浮2D材料的納米機電MEMS傳感器

基於懸浮2D材料的納米機電MEMS傳感器

一個國際研究人員團隊最近在《研究》（&34;）雜誌上發表了一篇有關基於懸浮二維（2D）材料的納米機電（NEMS）傳感器的評論文章，該雜誌是開放式多學科期刊。在2018年成為《科學合作夥伴期刊》（SPJ）計劃的第一本期刊。

本文是對&34;這一特殊問題的特邀邀請，其目的是為傳感器應用及其材料的2D材料領域的發展做出貢獻。與常規半導體技術的集成。

該論文的第一作者Lemme說：&34;

綜述總結了許多研究，這些研究成功地表明了在壓力傳感器，麥克風，質量和氣體傳感器中使用2D材料膜的可行性–解釋了不同的傳感器概念，並概述了相關的材料特性，製造路線和操作原理。

Lemme說：&34;

&34;工作包6（傳感器）負責人Peter G. Steeneken說。 Graphene Flagship和該論文的合著者。&34;

該評論包括亞琛工業大學，AMO GmbH，慕尼黑聯邦大學，KTH皇家理工學院，代爾夫特大學，英飛凌和卡夫裡納米科學研究所的貢獻，討論了基於2D材料的不同傳感器的不同讀數和集成方法。 ，並與最先進的設備進行比較，以顯示基於2D材料的納米機電傳感所面臨的挑戰和希望。