繼蝕刻機全球領先後,晶片製造關鍵設備再突破!光刻機也開始合圍

2020-12-03 科技強哥說

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大家都知道,我國的晶片主要依賴進口,每年的晶片進口額度超過了石油,在進口商品中位列第一。世界上每生產5塊晶片,中國就買走了3塊。而晶片生產主要包括設計和製造,晶片設計我國已達到領先水平,關鍵就是製造落後。而晶片製造中設備是關鍵,其中包括光刻機、蝕刻機、離子注入機等等,這些設備我們都在研發突破,下面帶大家了解下這些設備國產化進展。

蝕刻機已達到全球領先

光刻機是晶片製造的魂,蝕刻機是晶片製造的魄,要想製造高端晶片,這兩個設備都必須頂尖。相對光刻來說,刻蝕相對簡單,但要將精度提升到5nm,那也是相當不容易的。我國在蝕刻機領域已經突破,中微半導體的5nm蝕刻機已通過臺積電驗證,並將用於今年的5nm晶片生產。中微的5nm蝕刻機,可以說是繼華為5G之後,完全自主研發的頂尖技術。

國外曾經將蝕刻機列入禁止出售我國行列,但在中微突破之後,立即取消限制並大幅降價!現在,中微半導體可以自主生產5nm蝕刻機,達到世界領先!這一切其實都要致敬中國第一代科研人一一年近60歲的尹志堯博士,帶領眾多優秀海歸人才,回國創辦了中微半導體,在團隊對科技的不斷探索下,短短10多年的時間,就攻破了5nm蝕刻機的瓶頸,讓中國科技再一次實現了反超越

高能離子注入機又突破

離子注入機是晶片製造中僅次於光刻機、蝕刻機的關鍵裝備。那麼離子注入機在晶片製造過程中起什麼作用呢?晶片製造時,需要摻入不同種類的元素按預定方式改變材料的電性能,這些元素以帶電離子的形式被加速至預定能量並注入至特定半導體材料中,離子注入機即是執行這一摻雜工藝的晶片製造設備

而今天我們要介紹取得突破的是高能離子注入機,這是離子注入機中技術難度最大的機型。長久以來,因其極大的研發難度和較高的行業競爭壁壘,被稱為離子注入機領域的 「珠穆朗瑪峰」,是我國集成電路製造裝備產業鏈上亟待攻克的關鍵一環

近日喜報傳來,新華社報導,中國電子科技集團宣布,由該集團旗下電科裝備自主研製的高能離子注入機成功,實現百萬電子伏特高能離子加速,性能達到國際先進水平。將在年底前推出首臺高能離子注入機,並可以為全球晶片製造企業提供離子注入機成套解決方案。

高端光刻機也開始合圍

光刻機是晶片製造中最關鍵的設備,而高端光刻機現在被荷蘭壟斷,也就是所說的EUV光刻機。由於我國受到《瓦森納協定》的限制,很多高端技術被封鎖,光刻機也是其中之一,再加上米國的限制,中芯國際2018年底全款訂購的一臺EUV光刻機,按計劃應於去年底到貨,到現在依然沒有!不過,我國上海微電子也很爭氣,28nm光刻機預計明年出貨,以前生產的90nm光刻機也是我國的中流砥柱,因為大部分的晶片不用那麼高精度,這樣我們的國防設備和大部分電子工業已經能夠滿足!

但我們依然在向高端EUV光刻機進軍,因為高端手機和先進的5G依然會用到。其實,我國在EUV光刻機上的技術積累已是超過20多年了,別以為今天是倉促應戰的!現在已經開始向EUV領域展開全面合圍,哈工大研發成功EUV光源,華卓精科突破雙工件臺,國旺突破光學鏡頭,極紫外光刻(EUV)關鍵技術研究在長春光機所通過驗收。這些都表明,我國的高端光刻機正在突破,造出EUV光刻機不是沒有可能!

結語:原來由於「造不如買」的錯誤認識,加上國外對我國的技術封鎖,導致我國在晶片行業的落後。直到國外的不斷「卡脖子」封鎖,我們才意識到掌握核心科技的重要。然而因為欠帳太多,並且國外已經發展多年,我們想要追趕,連市場驗證的機會都很小。現在因為米國的制裁加劇,我國晶片行業各領域迅猛發展,不斷加強自主研發,差距正在逐漸縮小,只要有信心,一切皆有可能,因為我們已攻破了太多西方認為不可能的科技了!

那麼,大家覺得我國現在的晶片行業發展的怎麼樣,有沒有信心反超越呢?

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  • 事關晶片的兩個好消息,光刻機和蝕刻機突破,高通蘋果或被限制
    ,涉及各領域前沿知識,對工藝和設備有著極高要求隨著生活水平提高,晶片被廣泛應用於工業產品中,但是在晶片製造方面,我國始終與全球一線行列的國家有些差距,主要原因是光刻機和蝕刻機的限制不過,在我國企業不斷探索前進中,這樣的情況逐漸被改善,最近就傳來兩個關於晶片製造的好消息,讓國產自主晶片製造有了一定程度的底氣,讓國外晶片製造企業緊張起來
  • 光刻機or蝕刻機?別再傻傻分不清了
    光刻機與蝕刻機作為晶片製造領域核心設備,在晶片製造過程中,兩者缺一不可。長期以來先進的光刻機一直被荷蘭的ASML公司壟斷,尤其是今年美國對華為實施多層次禁令後,使得光刻機熱度一直未減,而蝕刻機似乎沒有光刻機那麼受到關注,但是這兩者又好像兩兄弟一樣總是成對出現,給讀者感覺它們似乎是同一種產品,技術難度相同,傻傻分不清什麼是光刻機,什麼是蝕刻機。今天就來談一談這兩者的區別。
  • 除了光刻機,還有蝕刻機!國產廠商攻克5nm技術,臺積電已下單
    而關於晶片,相信大家都已經因為華為這兩年的遭遇已經基本了解,而在晶片製造中,重要的關鍵設備便是:光刻機!不過除了光刻機之外,還有一種關鍵設備,重要程度僅次於光刻機,那就是蝕刻機!為什麼這麼說呢?因為晶圓加工,也就是晶片製造行業,由於處理工序多達數百道,而各種加工的設備機器因為精密昂貴,隨便一臺就要幾千萬美金,所以如果要建設晶片加工廠,設備的投入佔比就要超過70%以上,而晶圓製造設備種,光刻機佔比最高(30%),其次是刻蝕設備(20%),PVD,CVD,量測設備次之。
  • 重要性不亞於ASML EUV光刻機,國產5nm蝕刻機被臺積電三星爭相下單
    晶片製造可以說難度係數很高的技術。數據顯示,全球範圍內晶片製造企業可以說屈指可數,而能夠量產7nm以下工藝的晶片企業,目前僅有三星和臺積電等少數企業。據了解,先進位程工藝的晶片之所以難產,一方面是因為技術難度大,另外一方面是需要ASML的EUV光刻機等設備。EUV光刻機是目前唯一能夠生產7nm以下晶片的設備。儘管EUV光刻機很重要,但要生產先進位程的晶片,還需要另外兩款重要設備。
  • 有人說我國光刻機突破5nm製程,實際是沒搞懂光刻機和蝕刻機區別
    一直到現在,還有人認為我國晶片製造設備已經突破了最尖端的技術,達到了領先的水平,在很多論壇上總是有我國突破了晶片的5nm加工製程技術的強國貼。 視頻中也提到了一點,晶片製造過程中有一千多個工序步驟,但是沒告訴你,刻蝕之前還有更重要的步驟我們有設備造不了
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    第二步便是晶片光刻,這一步主要需要用到光刻機設備,直接將製作好的矽晶圓片放到燒爐上,然後矽晶圓片表面會形成一層均勻的氧化膜,然後在塗上光刻膠,再通過光刻機將整個晶片設計電路圖投射在矽晶圓上,形成相關的晶片電路圖;而目前國產晶片製造最大的難點也就在於光刻這一步驟,因為國內晶片代工巨頭無法獲得ASML最先進的光刻機,而國內光刻機水平又較為落後,所以整個最為關鍵的晶片製造工藝上被「卡脖子」,
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    【每日科技網】  光刻機和蝕刻機都是在生產現代大規模集成電路(晶片就是)過程中必不可少的設備,兩者之間差別比較大,且聽我細細講來。  什麼是光刻機?什麼是蝕刻機?
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  • 大圖重器再攀高峰,5nm蝕刻機正式面世,對我國半導體有什麼影響
    儘管我國中芯國際已經能量產14nm晶片,還自主研發了N+1工藝,完全可以達到7nm製程。但差距還很明顯,關鍵就在於晶片製造設備不到位。晶片製造設備重點就是光刻機和蝕刻機。先進的7nm光刻機,現在只有菏蘭ASML能生產,但因美國阻撓,遲遲不能到位。而蝕刻機已經被我國成功突破。
  • 蝕刻機和光刻機之間的區別,國產5nm蝕刻機取得臺積電認證
    本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/202010/419329.htm乍一看光刻機和蝕刻機非常接近,但是光刻機和蝕刻機卻不能混為一談,因為蝕刻只是製造晶片其中之一的環節罷了。而刻蝕機也只是諸多晶片製造設備其中之一。下面我給大家聊一下蝕刻機。
  • 光刻機VS蝕刻機:同是晶片製造機,命運分兩極
    等離子刻蝕出來的金屬板表面蝕刻機、光刻機傻傻分不清楚可能會有一部分人把蝕刻機與光刻機搞混,畢竟這倆經常一起出現,但其實它們之間還是有很大的差別的。可以說光刻機是晶片製造的魂,蝕刻機是晶片製造的魄,要想製造高端的晶片,這兩個東西都必須頂尖。
  • 蝕刻機和光刻機的區別
    打開APP 蝕刻機和光刻機的區別 姚遠香 發表於 2019-03-14 14:15:31   最近光刻機和蝕刻機一直都是當前最熱的話題,可以說光刻機是晶片製造的魂,蝕刻機是晶片製造的魄,要想製造高端的晶片,這兩個東西都必須頂尖。
  • 半導體巨頭崛起,突破5nm蝕刻機技術!中國芯有望突出重圍
    今年年初,中國還率先製造了配有光刻機的5 nm刻蝕機,佔據了全球5 nm刻蝕機的制高點。這次突破也意味著中國在刻蝕機領域處於全球領先地位,而實現這一目標的企業是中微電子。
  • 臺積電都採購了國產5nm蝕刻機,國產光刻機要多久?
    相比之下,中國目前最好的的光刻機廠商,是上海微電子公司,他們的90納米光刻機已經量產,而28納米的光刻機正在緊張攻克中,預計年底拿出樣機。不過我們也不是什麼設備都被」卡脖子「。這裡就要提到晶片生產過程中,重要性僅次於光刻機的設備:蝕刻機。
  • 國產蝕刻機巨頭再次「破冰」,成功突破5nm
    晶片是智能設備的「心臟」,在這方面無可否認,美國是領先的技術,世界上很少有公司能夠獨立完成晶片製造,許多領先的晶片公司需要依靠美國的技術和設備,因此美國開始改變出口控制措施美國要求所有使用美國技術和設備的半導體公司不得向華為提供晶片,這需要美國商務部的批准 因此,中國迫切需要開發自製晶片 國內有很多廠商已經開始了自研之路,一時間,自研晶片成了熱潮製作一個晶片看起來像一個非常小的東西
  • 光刻機的工作原理的原理是什麼?怎麼刻晶片?
    光刻機的工作原理在整個晶片製造工藝中,幾乎每個工藝的實施,都離不開光刻的技術。光刻也是製造晶片的最關鍵技術,他佔晶片製造成本的35%以上。當晶片完成 IC 設計後,就要委託晶圓代工廠進行晶片製造封裝。晶片製造中,晶圓必不可少,從二氧化矽(SiO2)礦石,比如石英砂中用一系列化學和物理冶煉的方法提純出矽棒,然後切割成圓形的單晶矽片,這就是晶圓。
  • 晶片蝕刻機65nm到5nm的逆襲,為我們光刻機的發展,做了一個榜樣
    最近一段時間,光刻機開始受到了大家的普遍關注,最為根本的原因是隨著時間的推移,大家已經認識到了晶片技術在國內之所以發展受阻的最重要的原因,不是技術、不是人才、而就是因為缺乏了一臺好的光刻機。時至今日,中國國內在市場的驅使之下,正在積極探索自主研發光刻機,現在中國已經擁有了自己的光刻機,但是在nm精度上面,還需要繼續加強。其實不僅是光刻機,其實很早之前,我國的蝕刻機方面也曾經遭到一些打擊,之前在中國晶片等高科技技術飛速發展的時候,國外對中國進行蝕刻機限制出口,導致中國晶片行業受到了一定的打擊。
  • 不只是光刻機,國產巨頭攻克5nm蝕刻技術,臺積電第一個下單
    本文原創,請勿抄襲和搬運,違者必究 不只是光刻機 華為在面對晶片限制的時候,讓國人都開始關注國產晶片的實力。這時候才發現,在這部分,國產晶片是有短板的。華為晶片反映出的是國內半導體產業的現狀,國外對華為晶片的技術封鎖,更讓我們知道,自研技術的重要性。