除了光刻機,還有蝕刻機!國產廠商攻克5nm技術,臺積電已下單

2020-12-03 網際網路果實

如今隨著科技的發展,人們的生活已經離不開電子產品,而由於電子產品中的核心部分,晶片大多是國外進口,像是我們的手機,電腦的大部分核心CPU晶片都是高通,英特爾公司的。

而關於晶片,相信大家都已經因為華為這兩年的遭遇已經基本了解,而在晶片製造中,重要的關鍵設備便是:光刻機!

不過除了光刻機之外,還有一種關鍵設備,重要程度僅次於光刻機,那就是蝕刻機!

為什麼這麼說呢?

因為晶圓加工,也就是晶片製造行業,由於處理工序多達數百道,而各種加工的設備機器因為精密昂貴,隨便一臺就要幾千萬美金,所以如果要建設晶片加工廠,設備的投入佔比就要超過70%以上,而晶圓製造設備種,光刻機佔比最高(30%),其次是刻蝕設備(20%),PVD,CVD,量測設備次之。

這個圖可以一目了然地了解了吧。

由於目前光刻機是被荷蘭的ASML公司以及日本的尼康及佳能壟斷。

中國也有不少光刻機的廠商,例如上海微電子,中電科45所等,但是技術目前還與荷蘭ASML公司有著差距,因為國產的技術目前最高在28nm晶片,而荷蘭ASML公司已經給臺積電供貨5nm技術的EUV光刻機了。

不過咱們也不要擔心,中科院院長已經宣布把光刻機等核心技術設備列入下一個科研任務清單,要把「卡脖子」清單,集合全部力量去攻克!

而在蝕刻機領域,中國的龍頭廠商:中微半導體,則十分給力,其自主研發的5nm等離子體刻蝕機已經被臺積電( 2330-TW )驗證,下單訂購,將用於全球首條5nm製程生產線。

要知道,臺積電作為全球最大的晶片半導體加工廠,還是比較考驗廠商的功底的,而中微公司也是唯一進入臺積電7nm製程蝕刻設備的大陸半導體設備商。

可以這麼說,中微半導體的5nm蝕刻機是繼華為5G之後完全自主研發的頂尖技術。

可能大家都知道,作為晶片生產廠商的臺積電目前正在嘗試量產5nm晶片。而現在他們的5nm晶片的生產除了依賴荷蘭ASML公司的的EUV光刻機外,還需要中國提供的5nm刻蝕機。

而且有消息稱,除了已有技術的5納米的蝕刻機,當前中微半導體公司還在向3納米的蝕刻機製造技術領域積極探索。

這可不是空想,要知道,當初中微半導體公司在上市招股書裡提到:由於其開發出與美國設備公司具有同等質量和相當數量的等離子體刻蝕設備並實現量產,美國商務部在2015年宣布解除了對中國等離子體刻蝕設備多年的出口管制。

所以說,相比在光刻機領域,我們在半導體蝕刻機設備方面的水平以及在技術上追平甚至部分超過了國外水平。

值得一提的是,中微公司2020上半年總營收9.78 億元,同比增長22.14%,歸母淨利潤1.19 億元,同比漲幅高達291.98%。技術實力的突破,也讓公司迎來了收穫季!

目前來看,雖然我們整體的半導體產業還與國外有一定差距,但是也不是沒有實力,一則有中科院等頂尖科研機構專研技術突破,又有像中微半導體公司這樣敢為人先的優秀企業。國內半導體設備產業的研發實力已經有了0~1的突破。

相信未來在越來越多頂尖科技人才的帶領下,中國的半導體產業會變得更加強大,只有堅持自研化,全產業鏈的國產化,才能真正地擺脫外界的束縛!

你對於中微半導體為何能夠做出這麼優秀的蝕刻機設備,有什麼看法?

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