在全球光刻機製造領域，荷蘭巨頭ASML壟斷全球多年。
所以無論是臺積電還是三星，想要繼續深耕高精度工藝，就必須從ASML處搶購年產量僅為數十臺的高端EUV光刻機。
但在晶片製造過程中，核心設備並非只有光刻機一種，蝕刻機的重要性也不容小覷。資料顯示，蝕刻機主要負責把複製到矽片上的電路結構進行微雕，雕刻出溝槽和接觸點，為線路提供空間。
由此可見，蝕刻機的工作精度絲毫不亞於用光將掩膜上的電路結構複製到矽片上的光刻機。
因而，掌握蝕刻機製造技術對於中國半導體產業而言同樣具有重要意義。在這一方面不同於光刻機領域，蝕刻機是目前我國最具優勢的半導體設備領域。
據IC Insights的數據，時至今日，蝕刻設備的國產化率已經達到20%以上，而且國產蝕刻機的市場規模也在隨著中國半導體市場規模的擴張不斷提升。
站在全球市場的角度來看，雖然美國泛林半導體、應用材料以及日本的東京電子這三家頂尖的蝕刻機公司佔據了94%的市場。
但除了日美三巨頭之外，中國的蝕刻機龍頭企業中微半導體，也處於業界領先地位。公開資料顯示，中微半導體正式成立於2004年，至今為止已有16年的發展史。
雖說16年對於半導體領域的企業而言並不算長，但中微半導體卻成功實現了國產蝕刻機從無到有的突破，甚至拿到了世界領先的成績。
筆者了解到，中微半導體是全球第一家成功研製出5nm精度蝕刻機的企業，目前該公司的5nm蝕刻機已經通過臺積電的驗證。
2020年，中微半導體5nm蝕刻機將會被臺積電應用於5nm生產線。值得一提的是，聯華電子、SK海力士等行業巨頭也是中微半導體的客戶。
事實上，早在2018年中微半導體就已經成為行業領先的蝕刻機巨頭。公開資料顯示，當年美方的相關設備因為涉嫌侵犯中微半導體的專利被中國海關扣下。
美企主動與中微半導體談判，並且雙方達成互相授權的和解協議後後才被放行。還有數據顯示，截至2019年，中微半導體掌握了多款具有自主智慧財產權的晶片設備，在全球範圍內申請的專利數量達1200多項。
在中微半導體的助力下，中國半導體產業有望更快擺脫美方的限制，徹底實現獨立自主。
文/諦林 審核/子揚 校對/知秋