文/BU 審核/有魚
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刻蝕機作為晶片製造過程中的關鍵設備，重要程度不亞於光刻機。同光刻機一樣，刻蝕機對精度的要求極其嚴苛，其鑽頭僅有一根髮絲的寬度，卻要完成數以億計的打孔任務。令人驕傲的是，難度如此高的刻蝕機已被我國半導體巨頭——中微半導體所攻克。
說到中微半導體，就不得不提創始人尹志堯。在美國加利福尼亞大學讀完研的尹志堯，畢業後在英特爾工作一段時間後，便被Lam請去做刻蝕機研發工作。不過五年的時間，Lam便在刻蝕機領域躋身全球第一。不過，後來Lam出現了內部管理問題，於是應用材料看準時機挖走了尹志堯。
尹志堯在應用材料工作的13年裡，帶領公司刻蝕機業務飛速發展，最終應用材料便擠掉Lam坐上了第一的位置。尹志堯，絕對是刻蝕機行業大佬級的人物，搶手程度不難想像。不過，在2004年，年過六旬的尹志堯帶領著研發團隊，選擇了回國，並創建了中微半導體。
經過16年的發展，中微半導體已經成為我國唯一的，也是全球領先的刻蝕機巨頭。雖然尹志堯對於刻蝕機的製造工藝瞭然於心，但是他明白美國智慧財產權管制的嚴苛，不想惹上官司。於是，尹志堯與團隊最先做得是對海外專利的研究，然後才開始國產蝕刻機的研製。
中微半導體從65nm做起，對業界刻蝕機巨頭窮追不捨，在公司成立三年後，首臺CCP刻蝕設備驚豔亮相，打破我國刻蝕機領域的空白。而且，該CCP刻蝕設備還一舉打入了海外市場，令人矚目。此後，中微半導體不斷追求更高精度刻蝕機，如今，更是突破5nm刻蝕機。
在2019年，中微半導體交付5nm刻蝕機。在發展過程中，除遇技術難題外，中微半導體還遭到了來自應用材料、英特爾於Lam三家的輪番起訴，理由是中微竊取專利。但是，尹志堯對此早有準備，因此，在長達11年的官司裡三家並沒有討到好處，最終和解。
用11年的時間，中微半導體從65nm到5nm，成長速度不得不令人讚嘆。而在2019年，中微半導體成功登陸科創板，同年，其營收也增長至19.47億元。接下來，中微半導體將投身於3nm刻蝕機的研發，期待其表現。
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