不只是光刻機,國產巨頭攻克5nm蝕刻技術,臺積電第一個下單

2020-11-22 騰訊網

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不只是光刻機

華為在面對晶片限制的時候，讓國人都開始關注國產晶片的實力。這時候才發現，在這部分，國產晶片是有短板的。華為晶片反映出的是國內半導體產業的現狀，國外對華為晶片的技術封鎖，更讓我們知道，自研技術的重要性。

我國在生產晶片的關鍵設備光刻機上，就無法達到最先進的EUV水準。全球只有一家公司能生產EUV光刻機，這家公司是來自荷蘭的ASML。如果能掌握同樣的先進技術，對國內半導體產業的幫助是無疑是巨大的。

可是要知道，EUV光刻機也並非是荷蘭純國產，90%的先進零部件都是國外進口，蔡司鏡頭是德國的，光源設備是美國的，先進位程是臺積電的。

可以說是集合了全世界頂尖巨頭的力量，才打造出人類工業史上最先進的機器。

困難不是放棄的理由，中科院已經決定要布局光刻機，向更先進的光刻技術發起進擊。並且在7月份時候，中科院突破了5nm雷射光刻技術，對將來打造先進光刻機奠定了基礎。

不只是光刻機，在蝕刻機技術上，我國國產巨頭也攻克了5nm蝕刻技術。

中微半導體

製造晶片是非常複雜的過程，不僅需要光刻機，蝕刻機也同樣重要。蝕刻機的作用是在矽片上進行蝕刻，比如在晶圓上刻一個槽。如果說光刻機是照相機在膠捲上曝光，那麼蝕刻機是顯影設備，在底片上顯示出影像。

兩種設備都十分重要，我國光刻機目前還無法達到5nm程度，但是國產巨頭中微半導體已經攻克5nm蝕刻技術。

可能外界對中微半導體的了解並不是很深，這家公司是面向全球微觀加工高端設備公司，為行業內企業提供先進的設備服務。

中微半導體研製的5nm等離子體刻蝕機，被臺積電( 2330-TW )驗證並運用在生產線上。在打造出先進蝕刻機設備後，臺積電第一個下單。

臺積電是全球最先進的晶片製造公司，目前已經開始量產5nm工藝，同時在衝刺3nm和2nm。在生產線中用上了中微半導體的5nm蝕刻機設備，可見中微半導體已經能達到世界頂尖水準。

創建中微半導體的其實是一位海歸博士，名字叫尹志堯，當初赴美留學的時候，原本在美可以有不錯的發展，但尹志堯還是決定帶領團隊回到國內，並最終創辦了中微半導體，為國產半導體行業作出重大貢獻。

總結

蝕刻機和光刻機缺一不可，可以發現，在一塊小小的晶片背後，凝聚著眾多先進技術，一塊零部件就是一個企業，一項技術的突破可以帶動行業的發展。雖然在光刻機上還需要努力，可是隨著每一項先進技術的升級，距離成功都更進一步。相信國產半導體產業，一定能崛起。

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