中微宣布5nm刻蝕機,臺積電第一個下單,ASML急眼了

2020-11-22 騰訊網

21世紀以來,全球半導體高端晶片的製造產業一直被歐美等國家壟斷,雖然我國一直奮力追趕,但是在製程設備上的缺乏,導致了高端晶片製程工藝中的不完整,這也讓我們在晶片領域中失去了話語權,一直處於被動發展的局面。

蝕刻機、MOCVD 與光刻機一併被稱為半導體工藝三大關鍵設備,中芯國際投入11億美元之巨向美國的泛林和應用材料購買的,主要就是蝕刻機、MOCVD設備及其工藝流程控制。光刻機負責「畫圖」,蝕刻機負責「雕刻」,技術要求一樣,光刻機負責將電路圖複製到矽晶片,剩下工作就是蝕刻機通過腐蝕的方法將電路圖裡多餘的矽晶片去掉,只留下有用的電路部分。

半導體工藝的技術水平主要由光刻機決定,中微半導體做5nm蝕刻機並不等於能做5nm光刻,但是這個領域的進展依然意義重大,先進的蝕刻機售價也要數百萬美元,而且一條生產線要使用很多臺蝕刻機,總價值依然不可小覷。如果按照晶片從設計到生產,那麼可以簡單描述為華為設計晶片,中芯國際代工晶片,而中微半導體提供生產設備,主要為刻蝕機和MOCVD(薄膜沉積)設備。

中微半導體是我國半導體設備企業中極少數能與全球頂尖設備公司直接競爭,並不斷擴大市場佔有率的公司。目前,中微半導體開發的高端刻蝕設備已運用在國際知名客戶 65 nm 到 7 nm 的 晶片生產線上。而且令人振奮的是中微已開發出 5nm 刻蝕設備,並已獲得行業領先客戶的批量訂單。

並且讓人沒想到的是,在先進的蝕刻機設備被打造出來後,第一個下單的竟然是臺積電。要知道臺積電是世界上最頂尖的晶片製造公司,該企業的5nm晶片已經實現了量產,而如果能在生產線上使用中微企業的蝕刻機就意味著該蝕刻機的水平已經得到了最大的認可。總的來說晶片發展中蝕刻機和光刻機都缺一不可,儘管現在光刻機技術還沒有突破,但是蝕刻機的成功讓我們看到,未來晶片技術成功不是夢。

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  • 不只是光刻機,國產巨頭攻克5nm蝕刻技術,臺積電第一個下單
    兩種設備都十分重要,我國光刻機目前還無法達到5nm程度,但是國產巨頭中微半導體已經攻克5nm蝕刻技術 中微半導體研製的5nm等離子體刻蝕機,被臺積電( 2330-TW )驗證並運用在生產線上。
  • 重要性不亞於ASML EUV光刻機,國產5nm蝕刻機被臺積電三星爭相下單
    在先進蝕刻機方面,國內的中微可以說最有發言權。因為中微研發的5nm的蝕刻機已經被臺積電採用並且投入使用,中國成為了全球第一個能夠自主研發製造5nm蝕刻機的國家,並在這一領域已經遙遙領先世界上其他的國家。
  • 領先世界,中國造出5nm刻蝕機,已供貨臺積電
    根據臺積電的工藝路線圖,2020年就要量產5nm工藝,而中微半導體的5nm蝕刻機已經打入臺積電的供應鏈。這也是中國第一次在晶片製造設備上領先世界。目前從事刻蝕機研發的企業共有北方華創和中微。 中微主要攻關的是介質刻蝕工藝和矽刻蝕工藝,中微半導體於2004年由尹志堯博士帶領的海歸人才創辦,尹志堯博士中國科學技術大學化學物理系,曾任職於中科院蘭州物理化學所,後來前往加利福尼亞大學洛杉磯分校留學,在矽谷Intel公司、LAM研究所、應用材料公司等電漿蝕刻供職16年。
  • 中微半導體的5nm等離子體蝕刻機將用於臺積電全球首條5nm工藝生產線
    打開APP 中微半導體的5nm等離子體蝕刻機將用於臺積電全球首條5nm工藝生產線 發表於 2018-12-21 15:59:34
  • 國產集成電路設備重大突破 中微半導體5納米刻蝕機通過臺積電驗證
    中證網訊(記者 楊潔)根據解放日報12月18日消息,近期中微半導體自主研製的5納米等離子體刻蝕機經臺積電驗證,性能優良,將用於全球首條5納米製程生產線。5納米相當於頭髮絲直徑的二萬分之一,是集成電路製程工藝最小線寬。臺積電宣布2019年將進行5納米製程試產、預計2020年量產。
  • 國產廠商攻克5nm技術,臺積電已下單
    中國也有不少光刻機的廠商,例如上海微電子,中電科45所等,但是技術目前還與荷蘭ASML公司有著差距,因為國產的技術目前最高在28nm晶片,而荷蘭ASML公司已經給臺積電供貨5nm技術的EUV光刻機了。不過咱們也不要擔心,中科院院長已經宣布把光刻機等核心技術設備列入下一個科研任務清單,要把「卡脖子」清單,集合全部力量去攻克!而在蝕刻機領域,中國的龍頭廠商:中微半導體,則十分給力,其自主研發的5nm等離子體刻蝕機已經被臺積電( 2330-TW )驗證,下單訂購,將用於全球首條5nm製程生產線。
  • 國產晶片崛起,中微半導體CEO尹志堯:5nm蝕刻機已獲臺積電認可
    中微半導體的蝕刻機就是其中之一。臺積電的工藝路線,明年第三季度就要試產5nm工藝,這一代工藝會全面應用EUV光刻技術。除了光刻機之外,蝕刻機也是半導體工藝中不可缺少的一步,在這個領域中國半導體裝備公司也取得了可喜的進步,中微半導體的5nm蝕刻機已經打入臺積電的供應鏈。
  • 60歲創辦中微半導體!自研出首臺5nm刻蝕機,確立了技術地位領先
    據了解,中微半導體的所自研的高精度蝕刻機已達到5nm,是國內半導體高端設備的頂尖存在,更是國際半導體行不可忽視的力量 尹志堯攜團隊回國,創辦了中微半導體公司,並且展開對蝕刻機設備的研發,僅僅幾年時間,中微半導體企業便自研出第一代介質刻蝕機
  • 新消息:華為或首發6nm,中微蝕刻機被爭相下單,中科院回應!
    #最新科技動態#近期的科技市場中誕生了三則新消息,分別是華為或首發6nm,中微蝕刻機被爭相下單,中科院回應!然後市場中就有消息人士稱,華為新機或將首發聯發科的一款全新處理器,該處理器為最新6納米工藝打造,也就是說,麒麟的暫別不是華為手機業務的「絕唱」,這也讓期待值增加了許多,如果真的是這樣,那麼對華為的發展真的是「雪中送炭」。
  • 中微5nm刻蝕機問世,中國半導體實現彎道超車?真相讓國人清醒!
    近日看到了一則好消息,有媒體報導,中微公司的5nm高端蝕刻機成功問世,並且已經獲得了臺積電方面的認可,這個真的讓人很驚喜。我們知道,在晶片的製造過程中需要「光刻機」這樣的高端設備,但卻很少有人知道,其實刻蝕機對於晶片的生產來說同樣也是非常重要的,作為晶片生產中的一個重要程序,刻蝕機的精度也必須達到很高的要求。中微公司CEO尹志堯之前說過,要做就做世界第一,做中國第一也會被別人替代!
  • 國產5nm蝕刻機打入臺積電
    根據臺積電的工藝路線圖,2020年Q3季度就要試產5nm工藝了,這一代工藝會全面應用EUV光刻技術。除了光刻機之外,蝕刻機也是半導體工藝中不可缺少的一步,在這個領域中國半導體裝備公司也取得了可喜的進步,中微半導體的5nm蝕刻機已經打入臺積電的供應鏈。
  • 國產5nm刻蝕機問世,但這並不能突破華為晶片封鎖!
    近日,中微半導體公司傳來了好消息,國產5nm蝕刻機已經完成最好的測試,並將交付臺積電使用。而這也標誌著國產蝕刻機達到了國際領先水平,但這並不意味著國內已具備組件5nm製程工藝生產線的能力,也不能從根本上幫助華為突破晶片封鎖。
  • 國產5nm半導體設備已獲得臺積電訂單 5nm以下技術研發中
    除了大家都知道的光刻機,半導體設備生產中還需要各種設備,國內的中微半導體設備公司已經能夠生產高端刻蝕設備,其5nm刻蝕機已經批量生產,用於臺積電的5nm生產線中。中微半導體上周末發布了2019年財報,全年實現營業收入19.47億元,同比增長18.77%;實現歸母淨利潤1.89億元,同比增長107.51%。
  • 你對中微半導體有限公司宣布已經掌握5納米的半導體技術有什麼看法?
    中微取得的成就無疑是令人興奮的,但也並不能誇大其詞,不符合客觀實際。 2017年3月,中微半導體設備公司宣布將在當年年底正式敲定5nm刻蝕機。在半導體設備行業被歐美日霸佔的情況下,一家中國公司能有這樣的產品是非常了不起的。
  • 臺積電都採購了國產5nm蝕刻機,國產光刻機要多久?
    說實話,臺積電在華為之前晶片被斷供之前,也算是一個好的合作夥伴,盡力生產,而且還在申請許可,希望給華為繼續供貨。但是由於生產先進的7nm甚至是5nm工藝製程的晶片,需要用到荷蘭ASML的EUV光刻機 。
  • 又一中國半導體巨頭崛起,5nm刻蝕機到來,再次領先世界
    不過就在今年的年初,中國率先製造出了與光刻機配套的5nm刻蝕機,佔領了全球5nm刻蝕機的制高點。這次的突破也意味著中國在刻蝕機領域達到了全球領先,而做到這一步的企業就是中微電子。 中微電子是我國唯一在晶片製造領域率先突破的一家企業,目前中微公司生產的5nm刻蝕機已成功進入臺積電產業鏈
  • 大國重器之國產刻蝕機:中國晶片燎原火 - 刻蝕機,半導體,中微...
    國內兩家重要的廠家中微半導體和北方華創用的都是「刻蝕機」,本文也統一使用「刻蝕機」。一、刻蝕機是用來做什麼的刻蝕機,顧名思義,對應的是晶片製造中的「刻蝕」這一步。在晶片製造中,「光刻」和「刻蝕」是兩個緊密相連的步驟,也是非常關鍵的步驟。回顧IT之家之前介紹光刻機的文章,我們知道,「光刻」就相當於用投影的方式把電路圖「畫」在晶圓上。
  • 十年磨一劍,國產5nm刻蝕機研製成功,晶片製造前進一大步
    而想要在晶片大小不變的情況下增加電晶體數量就需要提升它的製造工藝,從最初的24nm、16nm再到7nm和5nm,晶片性能強大的同時它的製造難度越來越高,不少代工企業面臨淘汰,留到最後的就只有臺積電和三星這樣的老牌代工廠商,大陸的代工企業已經沒有了核心競爭力。晶片的代工到底難在哪?
  • 國產廠商攻克5nm蝕刻技術,臺積電成第一個客戶
    國產廠商攻克5nm蝕刻技術晶片的製造過程中,光刻機和蝕刻機的關係是這樣的,華為等公司將設計好的晶片做成一個光罩,然後光刻機發射雷射透過這個光罩,跟塗抹在晶圓上的光刻膠發生反應,這時候晶圓上就有電路圖!中微半導體已經布局了很多,蝕刻機技術跟荷蘭的ASML處於同一水平!很多企業都很喜歡中微半導體的蝕刻機。臺積電成為第一個客戶其中最有名的客戶就是臺積電,臺積電對於工藝的把控是很到位的,所以它才是全球第一的晶片製造商,但是在很多晶片生產線上,臺積電沒有選擇荷蘭ASML的蝕刻機,而是選擇了中微半導體的蝕刻機!
  • 大圖重器再攀高峰,5nm蝕刻機正式面世,對我國半導體有什麼影響
    近日,上海傳來好消息,中微5nm蝕刻機正式面世,並已通過臺積電驗證,計劃在今年用於臺積電5nm晶片的生產中。目前其生產的7nm刻蝕機已經用於臺積電的晶片製造中,像麒麟980、高通855,蘋果A12背後,都少不了它的身影。中微半導體的5nm蝕刻機,可以說是繼華為5G之後,完全自主研發的頂尖技術。