光刻機和蝕刻機有什麼區別?差距一目了然!

2021-01-16 騰訊網

最近中興事件作為導火索,引發了國人關於晶片討論,其中不免涉及到了晶片製造業兩大至關重要的技術,蝕刻機和光刻機,作為一個業餘愛好者,我為大家分享一下我知道的東西。

什麼是光刻機

光刻機作為製造晶片的核心裝備之一,因為用途的不同,分為生產晶片的光刻機,用於封裝的光刻機,還有LED領域的投影光刻機,目前主要討論的是用於生產晶片的光刻機,這也是晶片領域,我國最薄弱的環節。

先了解一下光刻中必須要用的東西——光刻膠,簡單的來說這種膠狀物,只能被光腐蝕,而不能被化學物質腐蝕,製造晶片時講光刻膠塗在金屬表面,然後用光把不需要的地方腐蝕掉,製作出自己需要的圖形(電路結構之類的),接下來就該蝕刻機上場了。

什麼是蝕刻機

蝕刻分為兩類,一類是幹刻,一類是溼刻(目前主流),溼刻就是特定的化學溶液與上個部分光刻機製作後的薄膜發生反應,發生反應過後剩下的東西,就是需要的東西了,這個過程有液體接觸,所以叫溼刻。

幹刻更加高級,目前並沒有大規模應用,它是通過等離子電漿去除未覆蓋的薄膜。

光刻機 ASML一枝獨秀

以前光刻機領域還有佳能尼康制衡ASML,不過隨著技術差距越來越多,目前高端光刻機市場被ASML壟斷,7nm級別光刻機17年的產量只有12臺,一臺1.2億美元,還要提前21個月預訂,中國就算排隊,也不知道哪年買得到,背地裡還有有些國家作怪,目前國產光刻機還處於90nm階段,任重道遠。

五大蝕刻機廠商 中微是其一

目前能生產7nm級別蝕刻機的有應用材料,科林研發,東京威力科創,日立先端,中微半導體五家公司,中微是唯一一家中國企業,並且已經開始向臺積電供貨,中微也代表著中國頂尖的半導體技術。

中國半導體起步晚,需要走的路還很長,不過中國人最不缺的就是毅力,只有堅持不懈方能厚積薄發。

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    本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/202010/419329.htm乍一看光刻機和蝕刻機非常接近,但是光刻機和蝕刻機卻不能混為一談,因為蝕刻只是製造晶片其中之一的環節罷了。而刻蝕機也只是諸多晶片製造設備其中之一。下面我給大家聊一下蝕刻機。
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    而關於晶片,相信大家都已經因為華為這兩年的遭遇已經基本了解,而在晶片製造中,重要的關鍵設備便是:光刻機!不過除了光刻機之外,還有一種關鍵設備,重要程度僅次於光刻機,那就是蝕刻機!為什麼這麼說呢?這個圖可以一目了然地了解了吧。由於目前光刻機是被荷蘭的ASML公司以及日本的尼康及佳能壟斷。
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    ,涉及各領域前沿知識,對工藝和設備有著極高要求隨著生活水平提高,晶片被廣泛應用於工業產品中,但是在晶片製造方面,我國始終與全球一線行列的國家有些差距,主要原因是光刻機和蝕刻機的限制不過,在我國企業不斷探索前進中,這樣的情況逐漸被改善,最近就傳來兩個關於晶片製造的好消息,讓國產自主晶片製造有了一定程度的底氣,讓國外晶片製造企業緊張起來
  • 有人說我國光刻機突破5nm製程,實際是沒搞懂光刻機和蝕刻機區別
    在光刻過程中,先在矽基上均勻塗一層光刻膠(下圖1),然後用光刻機在掩膜的幫助下對光刻膠進行曝光(下圖2),經過光照的光刻膠就可以用液體清洗掉(下圖3),這時用刻蝕機對矽基進行蝕刻(下圖4),蝕刻之後清洗乾淨,就可以在矽基上鍍銅了(下圖5)
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    相比之下,中國目前最好的的光刻機廠商,是上海微電子公司,他們的90納米光刻機已經量產,而28納米的光刻機正在緊張攻克中,預計年底拿出樣機。不過我們也不是什麼設備都被」卡脖子「。這裡就要提到晶片生產過程中,重要性僅次於光刻機的設備:蝕刻機。
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    最近一段時間,光刻機開始受到了大家的普遍關注,最為根本的原因是隨著時間的推移,大家已經認識到了晶片技術在國內之所以發展受阻的最重要的原因,不是技術、不是人才、而就是因為缺乏了一臺好的光刻機。時至今日,中國國內在市場的驅使之下,正在積極探索自主研發光刻機,現在中國已經擁有了自己的光刻機,但是在nm精度上面,還需要繼續加強。其實不僅是光刻機,其實很早之前,我國的蝕刻機方面也曾經遭到一些打擊,之前在中國晶片等高科技技術飛速發展的時候,國外對中國進行蝕刻機限制出口,導致中國晶片行業受到了一定的打擊。
  • 製造晶片的光刻機,有可替代產品嗎?其它設備無法進行替代
    光刻機的技術難度特別高,被稱為現在的光學工業之花,堪稱人類智慧集大成的產物。它的整體需要上萬個精密部件,上萬行的代碼,以及高精確的機械工藝技術。尤其是在光源和底片方面,ASML由美國和德國的支持,也就是美國給它提供了最新進的光源技術,而德國卡爾蔡司提供了頂尖的鏡頭。
  • 國產光刻機蝕刻機已非常先進,為什麼還說中國晶片依舊前路茫茫?
    中國的蝕刻機的確是世界上最先進的,可是,光刻機技術排在第二梯隊,跟世界最先進水平還是有很大一段差距的。所以,有人說中國晶片依舊前路艱辛,還是有一定道理的。為什麼這麼說呢?可以隨我一起來看看。一、國產28納米光刻機,明年才能到來。
  • 光刻機是誰發明的_中國光刻機與荷蘭差距
    目前,全球最頂尖的光刻機生產商是荷蘭ASML、Nikon、Canon和上海微電子(SMEE),其中ASML實力最強,因此全球多數國家都願意去這家公司進口光刻機,值得注意的是,美國正在阻撓中國進口荷蘭光刻機,而頗有壓力的荷蘭政府也搖擺不定,目前,三方正在僵持。
  • 光刻機的工作原理的原理是什麼?怎麼刻晶片?
    例如,大規模集成電路要經過約10次光刻才能完成各層圖形的全部傳遞。而光複印技術就是光刻機,而刻蝕工藝就是蝕刻機。在光刻技術的原理下,人們製造了光刻機,光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段,將光束透射過畫著線路圖的掩模,經物鏡補償各種光學誤差,將線路圖成比例縮小後映射到晶圓上,不同光刻機的成像比例不同,有5:1,也有4:1。
  • 我國光刻機到底是90nm還是5nm水平?說法不一,原因何在?
    國產光刻機目前什麼水平國產光刻機到底是90nm還是5nm水平?大部分小夥伴都是混淆了兩個機器的概念,雖然這兩個機器名字只有一字之差,但是它所代表的意義就大不相同。這裡大部分人就是混淆了這個光刻機和蝕刻機兩個概念,雖然它們只有一字之差,但是意義卻大不相同。
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    (文章來源:網絡整理) 眾所周知全球最大的兩個晶片代工廠是三星和臺積電,雖說臺積電和三星如果斷供,像華為麒麟高端晶片可能就會癱瘓,但三星和臺積電也沒有自己的光刻機,只能跟荷蘭ASML公司購買。