最近中興事件作為導火索,引發了國人關於晶片討論,其中不免涉及到了晶片製造業兩大至關重要的技術,蝕刻機和光刻機,作為一個業餘愛好者,我為大家分享一下我知道的東西。
什麼是光刻機
光刻機作為製造晶片的核心裝備之一,因為用途的不同,分為生產晶片的光刻機,用於封裝的光刻機,還有LED領域的投影光刻機,目前主要討論的是用於生產晶片的光刻機,這也是晶片領域,我國最薄弱的環節。
先了解一下光刻中必須要用的東西——光刻膠,簡單的來說這種膠狀物,只能被光腐蝕,而不能被化學物質腐蝕,製造晶片時講光刻膠塗在金屬表面,然後用光把不需要的地方腐蝕掉,製作出自己需要的圖形(電路結構之類的),接下來就該蝕刻機上場了。
什麼是蝕刻機
蝕刻分為兩類,一類是幹刻,一類是溼刻(目前主流),溼刻就是特定的化學溶液與上個部分光刻機製作後的薄膜發生反應,發生反應過後剩下的東西,就是需要的東西了,這個過程有液體接觸,所以叫溼刻。
幹刻更加高級,目前並沒有大規模應用,它是通過等離子電漿去除未覆蓋的薄膜。
光刻機 ASML一枝獨秀
以前光刻機領域還有佳能尼康制衡ASML,不過隨著技術差距越來越多,目前高端光刻機市場被ASML壟斷,7nm級別光刻機17年的產量只有12臺,一臺1.2億美元,還要提前21個月預訂,中國就算排隊,也不知道哪年買得到,背地裡還有有些國家作怪,目前國產光刻機還處於90nm階段,任重道遠。
五大蝕刻機廠商 中微是其一
目前能生產7nm級別蝕刻機的有應用材料,科林研發,東京威力科創,日立先端,中微半導體五家公司,中微是唯一一家中國企業,並且已經開始向臺積電供貨,中微也代表著中國頂尖的半導體技術。
中國半導體起步晚,需要走的路還很長,不過中國人最不缺的就是毅力,只有堅持不懈方能厚積薄發。
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