日本電子發布智能技術新型肖特基場發射掃描電鏡JSM-IT800

儀器信息網訊 2020年5月25日，日本電子株式會社（JEOL Ltd.）總裁兼營運長Izumi Oi宣布發布一款新型肖特基場發射掃描電子顯微鏡JSM-IT800，並在2020年5月上市銷售。

新型肖特基場發射掃描電子顯微鏡JSM-IT800【產品連結】

產品開發背景

掃描電子顯微鏡(SEM)被廣泛應用於納米技術、金屬、半導體、陶瓷、醫學和生物學等領域。隨著SEM的應用範圍不斷擴大，不僅包括研究和開發，還包括生產現場的質量控制和產品檢驗，SEM用戶需要快速高質量的數據採集，以及簡單的成分信息確認和無縫的分析操作。

掃描電子顯微鏡(SEM)被廣泛應用於納米技術、金屬、半導體、陶瓷、醫學、生物學等領域，且其應用領域還在不斷延。同時，應用的場景也涵蓋了從基礎研究開發，再到生產製造現場的質量控制和產品檢測。與此相應，SEM用戶對快速高質量的數據採集、簡單的成分信息確認，以及無縫的分析操作等的需求也越來越高。

為了滿足這些需求，帶有智能技術（IT）平臺的JSM-IT800集成獨特的「鏡頭內肖特基Plus場發射電子槍」，用於高解析度成像及快速元素映射，並配置新一代電子光學控制系統「Neo Engine」，以及最求易用性的GUI「 SEM中心」可以完全整合JEOL 的x射線能譜儀。此外，JSM-IT800可提供兩種類型的物鏡配置，以滿足不同用戶的需求。

JSM-IT800的兩種版本為：用於通用FE-SEM的混合鏡頭版本（HL版本）和用於增強的高解析度觀察和各種分析的超級混合鏡頭版本（SHL版本）。此外，SHL版本的JSM-IT800配備了新的上部混合探測器（UHD），可獲取更高的信噪比圖像，以研究樣品的精細結構。

此外，JSM-IT800還可以配備新的閃爍體背散射電子檢測器（SBED）和多功能背散射電子檢測器（VBED）。SBED使得即使在低加速電壓下也能以高響應度採集圖像並產生鮮明的材料對比度。而VBED可以獲取3D、不均勻度和材質對比的圖像。

主要特點

鏡頭內肖特基Plus場發射電子槍

電子槍和低像差聚光鏡的增強集成提供了更高的亮度。在低加速電壓下（5 kV時為100 nA）可獲得足夠的探針電流。獨特的In-lens肖特基Plus系統可實現從高解析度成像到快速元素映射，電子背散射衍射（EBSD）分析以及軟X射線發射光譜（SXES）的各種應用，而無需更改透鏡條件。

Neo Engine（新電子光學引擎）

Neo Engine是一種尖端的電子光學系統，累積了多年的JEOL核心技術。即使更改不同的觀察或分析條件，用戶也可以執行穩定的觀察。自動功能的高度可操作性大大增強。

SEM中心/ EDS集成

GUI「 SEM中心」與SEM成像和EDS分析完全集成，可提供無縫、直觀的操作。通過合併可選的軟體附件（例如SMILENAVI）可以增強JSM-IT800的功能，以幫助新手用戶並為他們提供學習路徑，並且可以使用LIVE-AI過濾器（Live Image Visual Enhancer–AI）來獲取更高質量的實時圖像。

混合鏡頭（HL）版本和超級混合鏡頭（SHL）版本

基於靜電場和電磁場透鏡的組合，有兩種類型的物鏡可用。不同的配置可以滿足用戶的各種需求，實現高空間解析度的成像和從磁性材料到絕緣子的各種樣品的分析，同時保持JSM-IT800的相同功能。

上層混合探測器（UHD）

內置於SHL型物鏡中的UHD大大提高了從標本產生的電子的檢測效率。這導致獲得具有更高信噪比的圖像。

新的反向散射電子探測器

閃爍體背散射電子檢測器（SBED，可選）具有高響應度，適合在低加速電壓下獲取與材料形成對比的圖像。具有分段檢測器元件設計的多功能背向散射電子檢測器（VBED，可選）允許用戶選擇配置各個段，或使用預編程的檢測器設置來獲取圖像，以提供三維，地形或成分信息。

主要參數

	JSM-IT800　SHL    version	JSM-IT800　HL    version
Resolution (1 kV)	0.7 nm	1.3 nm
Resolution (15 kV)	0.5 nm	-
Resolution (20 kV)	-	0.7 nm
Accelerating voltage	0.01 to 30 kV
Standard detector	Secondary   Electron Detector (SED)
	Upper Hybrid   Detector (UHD)	Upper Electron   Detector (UED)
Electron gun	In-lens   Schottky Plus field emission electron gun
Probe current	A few pA to 500   nA (30 kV)	A few pA to 300   nA (30 kV)
	A few pA to 100   nA (5 kV)
Objective lens	Super Hybrid   Lens (SHL)	Hybrid Lens   (HL)
Specimen stage	Full eucentric   goniometer stage
Specimen movement	X: 70 mm    Y: 50 mm  Z: 2 to 41 mm
	Tilt: –5 to 70°    Rotation: 360°
EDS detector	Energy   resolution: 133 eV or better
	Detectable   elements: B to U
	Detection area:   60 mm2