業內報導，臺積電將在2022年下半年開始生產3 nm晶片，預計每月生產55000片，到2023年將達到105000片。根據時間點來判斷，也許第一個手機處理器是蘋果A16。
至於3nm的投產，臺積電董事長劉德音曾透露，投產時，臺南科學園的員工人數將達到20000人，比目前多出5000人左右。
再回到過程層面，3 nm將實現15%的性能提升，30%的功耗下降，以及70%的密度增長， ASML (阿斯麥)之前曾指出，3 nm時代 EUV將超過20層，即鰭片(臺積電在3 nm時代仍然是 FinFET鰭式效應電晶體)和柵極(臺積電在3 nm時代仍然是 FinFET鰭式效應電晶體)。