臺積電首度公布28nm級High-K+金屬柵極工藝發展計劃

2020-11-23 cnBeta

這三種製程工藝分別是:

「低功耗氮氧化矽電介質工藝」(代號28LP);"High-K+金屬門高性能工藝「(代號28HP)以及」低功耗型High-K+金屬門工藝「(代號28HPL)。

其中28LP製程技術臺積電此前曾多次宣稱會在明年第一季度(預計會在三月份左右)開始小批試產,這種工藝的特徵是柵極採用傳統的氮氧化矽電介質+多晶矽柵極進行製造,製造成本較低,實現較為簡單,主要用於手機和各種移動應用。。

而後兩種工藝28HP和28HPL則在

柵極部分採用了High-K電介質+金屬柵極的結構

,與這兩種工藝技術有關的發展計劃則是臺積電

首次披露

,臺積電稱

28HP工藝會在明年第二季度(6月份左右)開始小批生產,

主打高性能,將應用於CPU、GPU、晶片組、FPGA、網絡、遊戲機和移動計算等常規應用。;而

28HPL工藝則會在明年第三季度開始小批生產,

可用於手機、上網本、無線通訊、可攜式消費電子設備等。另外,臺積電還表示

自己在28HP/28HPL工藝中採用的是Gate-last工藝技術

目前據各方面信息顯示Nvidia正在臺積電與Globalfoundries的28nm製程之間搖擺不定,而臺積電此番「表白」顯然在吸引Nvidia的注意力方面會起到一定的作用--當然,獲勝的前提是屆時晶片的良品率能夠達到合適的水平。

小資料:Gate-last

是用於製作金屬柵極結構的一種工藝技術,這種技術的特點是

在對矽片進行漏/源區離子注入操作以及隨後的高溫退火工步完成之後再形成金屬柵極

;與此相對的是

Gate-first

工藝,這種工藝的特點是

在對矽片進行漏/源區離子注入操作以及隨後的退火工步完成之前便生成金屬柵極。

由於

退火工步需要進行數千度的高溫處理,而Gate-last工藝則可令金屬柵極避開高溫退火工步

,因此相比Gate-first工藝而言,

前者對用於製作金屬柵極的金屬材料要求更低,不過相應的工藝技術也更複雜

,Intel便是Gate-last工藝的堅定支持者,而

IBM/AMD

則將採用

Gate-first工藝

製作32nm製程金屬柵極。

CNBeta編譯
原文:
fudzilla

相關焦點

  • Chipworks臺積電28nm HPL製程樣品初步分析結果出爐
    3-HKMG柵極結構分析:柵極結構方面,臺積電這款28nm製程產品與Intel 45nm製程產品存在一些相似之處,這些我們可以在圖3-4中看到。 圖3 Intel 45-nm (左) 與臺積電/賽靈思28nm HPL 製程(右)NMOS柵縱切圖(點擊放大) 圖4Intel 45-nm (左) 與臺積電/賽靈思28nm HPL 製程(右)PMOS柵縱切圖圖中可見,兩款產品的柵極都採用了以下的同樣製作步驟:1-    首先生成柵極底部的緩衝氧化層,
  • IBM陣營high-k技術發生變化
    IBM陣營high-k技術發生變化
  • HKMG: High-K Metal Gate–The Road so far!
    這就是我們現在6/8寸工廠主流的Poly-Gate工藝,適用於亞微米、深亞微米工藝,而柵極氧化層此時還一直都是SiO2,只是經歷了幹氧到溼氧的演變,再後來發展到摻N2O氧化也就是演變到28nm的SiON柵極介質層。(當然期間的變革繼續經歷了Amorphous、Flat-poly、以及POCl3摻雜或注入摻雜等,本文不細述)。
  • ASM將提供32nm工藝以後的高介電常數/金屬柵極形成技術
    ASM將提供32nm工藝以後的高介電常數/金屬柵極形成技術 CMOS柵極堆棧(英文發布資料)。
  • 評Xilinx的28nm從三重氧化物到HIGH-K
    本文用老百姓看得懂的語言介紹前兩天XILINX 28nm FPGA所採用TSMC的HIGH-K金屬柵工藝(HKMG)新聞的重大意義。
  • 半導體製造行業深度報告:從um級製造到nm級製造
    28nm 工藝處於 32nm 和 22nm 之間,業界在 45nm 階段引入了 high-k 值絕緣層/金屬柵極(HKMG)工藝,在 32nm 處引入了第二代 high-k 絕緣層/金屬柵工藝,這些為 28nm 的逐步成熟打下了基礎。而在之後的先進工藝方面,從 22nm 開始採用 FinFET(鰭式場效應電晶體)等。28nm 正好處於製程過渡的關鍵點上,使其性價比高。
  • GTX550Ti廉頗老矣 HD7750能否擔當28nm時代殺手
    綜合研發成本、用戶需求、製作工藝等因素考慮,兩家GPU廠商都認為設計一個成本、功耗、性能合理的GPU更符合當時的要求,同時GPU代工廠商臺積電TSMC也在尋求不斷突破,滿足GPU對於電晶體近乎饑渴的要求。
  • 半導體全面分析(四):晶圓四大工藝,落後兩代四年!
    薄膜沉積工藝系在晶圓上沉積一層待處理的薄膜,薄膜工藝常用於在晶圓表面製備各類半導體、絕緣體、金屬的薄膜材料,包含CVD、PVD(蒸發和濺射)、電鍍、外延等;沉積工藝包括化學沉積和物理沉積,形成多層的光刻和刻蝕立體結構,構成絕緣層或金屬導電層,詳細請持續關注本公眾號史晨星(shichenxing1)設備篇
  • 臺積電2nm工藝進展如何了?MBCFET架構獲重大突破
    IdGEETC-電子工程專輯臺積電還表示,2nm的突破將再次拉大與競爭對手的差距,同時延續摩爾定律,繼續挺進1nm工藝的研發。IdGEETC-電子工程專輯臺積電預計,蘋果、高通、NVIDIA、AMD等客戶都有望率先採納其2nm工藝。
  • ...攻堅2nm投入8000工程師人力,摩爾定律下,到底工藝極限是幾納米??
    >3nm、4nm也一併被公布。我們常說的X nm,指的是晶片上形成的互補氧化物金屬半導體場效應電晶體柵極的寬度,這個寬度也被稱為柵長。柵長越短,相同尺寸的矽片上能集成的電晶體就越多,在電晶體集成度相當的情況下,使用更先進的製造工藝,晶片成品的面積和功耗就越小,在矽材料消耗方面,其成本也就越低。
  • IBM:32nm製程High-K金屬柵極試產成功
    IBM公司及其技術同盟廠商,包括特許半導體、飛思卡爾、英飛凌、三星、意法半導體和東芝今天共同宣布,他們在IBM位於美國紐約州East Fishkill的300mm晶圓廠已經成功展示了32nm High-K金屬柵極技術晶圓,聯盟各廠商客戶現在已經可以開始進行32nm晶片產品的設計開發工作。
  • 5納米製程是個坎,半導體先進工藝製程路漫漫
    5納米是個坎 眾所周知,7nm是長壽命工藝節點之一,目前臺積電及三星均稱已經量產,而臺積電宣稱它拿到全球幾乎100%的7nm訂單。 臺積電的5nm finFET計劃已經明朗,它計劃2020年上半年開始試生產,估計真正的5nm量產要在2021年,或者之後。臺積電的5nm技術相比7nm,它的速度快15%,及功耗低30%。
  • 半導體工藝40年(中)
    一、半導體工藝的節點和發展隨著廣泛的應用和資本家對於利潤的追求,半導體工藝上世紀末開始飛速發展,實際上由於集成電路的發明,集成電路工藝成為半導體工藝的主角。其發展軌跡也印證了摩爾定律,隨著個人智能設備如手機的普及,.。。。180nm、130nm、90nm、65nm、40nm、28nm、16nm(納米)。。。
  • 向碳基晶片更進一步:臺積電斯坦福聯手開發碳納米管電晶體新工藝
    魚羊 編譯整理量子位 報導 | 公眾號 QbitAI5nm才剛嘗上鮮,臺積電的3nm廠房也已竣工,甚至傳出2nm工藝取得突破的消息。畢竟,晶片製造工藝達到5nm,就意味著單個電晶體柵極的長度僅為10個原子大小。而碳納米電晶體的直徑僅為1nm。
  • 向碳基晶片更進一步:臺積電斯坦福聯手開發碳納米管電晶體新工藝
    魚羊 編譯整理量子位 報導 | 公眾號 QbitAI5nm才剛嘗上鮮,臺積電的3nm廠房也已竣工,甚至傳出2nm工藝取得突破的消息。眼看著摩爾定律極限將至,下一步突破,恐怕就要看碳納米管的了。畢竟,晶片製造工藝達到5nm,就意味著單個電晶體柵極的長度僅為10個原子大小。而碳納米電晶體的直徑僅為1nm。
  • Omdia:中國半導體28nm工藝兩年內有望實現產業鏈自給自主
    2014年,國務院發布了《國家集成電路產業發展推進綱要》,建立集成電路電路產業發展的初步規劃,成立國家集成電路發展領導小組,設立了集成電路產業發展投資基金(下稱「大基金」),一期募資規模在計劃從Omdia的設計工藝預測圖中看,28nm及以上還是佔大多數市場份額,特別在中國,NB-IoT, 北鬥,工業IoT,帶智能解析的邊緣計算等方面還是28nm
  • 臺積電突然宣布,半導體領域發展已經達到上限?中國的機會來了
    本日跟朋友們聊一聊:臺積電鼓吹曾經找到了2nm晶片的生產工藝,而中科院也傳來了一個讓咱們奮發的好信息,這會不會是中國半導體平臺的挫折點呢?憑據此前的信息表現,臺積電行使切入環抱式柵極技術,研發出了2nm晶片生產工藝的可行性計劃,憑據職業人士吐露,2nm工藝曾經靠近半導體摩爾定律的生產極限,這也是當前晶片工藝所能霸佔的極限,若沒有新的技術釐革,辣麼就意味著2nm工藝即是晶片工藝的極限了,而2nm的晶片所包含的能量,也是當前沒有設施描述的,在兩全強大機能的同時,還可以或許完成更低的功耗。
  • GAA技術給摩爾定律續命,臺積電先進5、4、3、2、1nm晶片工藝製程布局
    臺積電先進5nm、4nm、3nm、2nm、1nm晶片工藝製程持續推進。ycgEETC-電子工程專輯雖然英特爾規劃的7nm工藝比臺積電的5nm工藝電晶體密度還大,但是後年都很難量產,估計要到2023年,那時臺積電更先進的2nm工藝都量產了。