12月1日，萬業企業在A股收盤後發布公告，宣布公司控股孫公司北京凱世通擬向公司關聯方芯成科技（紹興）出售3款12英寸離子注入機，總交易金額人民幣1億元（含13%增值稅）。萬業企業公司副總經理周偉芳表示，這是公司首個億元離子注入機訂單，有利於公司集成電路業務的進一步商業化。
資料顯示，在晶圓製造中，總共有七大關鍵環節，分別是擴散(Thermal Process)、光刻(Photo- lithography)、刻蝕(Etch)、離子注入(Ion Implant)、薄膜生長(Dielectric Deposition)、拋光(CMP，即化學機械拋光)、金屬化(Metalization)。同樣，晶圓製造也對應的需要七大類的生產設備，包括：擴散爐、光刻機、刻蝕機、離子注入機、薄膜沉積設備（包括PECVD、LPCVD、ALD等）、化學機械拋光機、清洗機。其中，離子注入機也正是晶圓製造中的關鍵裝備之一。
由於離子注入機領域存在較高競爭壁壘，技術集中度較高，目前主要由美國廠商所壟斷。數據顯示，在離子注入機市場，美國應用材料（AppliedMaterials）、亞舍立（Axcelis）合計佔據全球85%-90%的市場。根據中國國際招標網數據顯示，中國本土主要晶圓產線的離子注入機國產化率僅為1%。
萬業企業旗下的凱世通是全球唯一一家全領域離子注入機提供商，產品覆蓋集成電路、光伏、AMOLED領域。而此次凱世通集成電路離子注入機獲得客戶多款設備採購，表明國內客戶對凱世通低能大束流離子注入機、高能離子注入機進入全面商用化的認可。
根據公告顯示，凱世通出售的3款12英寸集成電路設備包括1臺低能大束流重金屬離子注入機、1臺低能大束流超低溫離子注入機以及1臺高能離子注入機。按照總交易金額1億人民幣來算，扣除增值稅後，設備均價在2900萬元左右。
據周偉芳介紹，目前國際上同類設備中，低能大束流離子注入機價格大概在3000至3500萬，高能大束流價格大概在6000至6500萬，相比之下，凱世通離子注入機具有價格優勢。萬業企業在公告中還透露，目前大束流離子注入機組裝已完成80%；其他兩款設備處於採購零部件階段。由於相關零部件供應商和訂單已經確定，因此成本上不會再受上遊價格波動影響。
周偉芳進一步表示，公司的著力點在於提供能夠滿足客戶需求的產品性能，更看重的是工藝水平研發，不以價格為考量，本次交易的設備性能在國際上屬於主流水平，可用於12英寸成熟工藝上。
至於此次訂單涉及關聯交易，周偉芳回應表示，主要系公司大股東的作為產業基金機構投資了眾多集成電路公司，董事有所重合，所以不可避免地形成了關聯交易，但事實上雙方此前並無業務關聯。
方正證券表示，凱世通的多款12英寸晶圓的離子注入機的驗證及銷售，將會增強公司在集成電路裝備領域核心競爭力，同時進一步豐富擴大凱世通產品的覆蓋範圍和供貨能力，從而更迅速地向全球晶片製造工廠提供產品。隨著下一代工藝設備完成驗證以及商用推進，國內半導體設備製造商有望進行新一輪晶圓製造投資，凱世通的離子注入機在國內市場的需求有望持續增長，獲得更具成長性的市場空間。
作為凱世通的母公司，萬業企業雖然依靠房地產起家，但是早在2018年就通過收購凱世通切入半導體產業。同時，萬業企業還通過入股上海半導體裝備材料基金，投資飛凱材料、精測電子、長川科技等，以外延併購+產業整合的方式布局半導體設備領域。值得一提的是，萬業企業的最大股東是上海浦東科技投資公司，第三大股東則是國家大基金，都是國產集成電路產業的主要推手。
編輯：芯智訊-浪客劍