紐大全球450mm聯盟相中SOKUDO浸潤ArF微影Track技術

2020-11-27 電子產品世界

　　根據美國商業資訊報導，大日本SCREEN製造株式會社(Dainippon Screen Mfg.)證實，其子公司開發的SOKUDO DUO 450mm塗層/顯影系統(coat/develop track system)已被總部位於奧爾巴尼市紐約州立大學(SUNY)奈米科學與工程學院(CNSE)的全球450mm聯盟(G450C)相中，用於浸潤式ArF微影技術和定向自組裝(DSA)應用。

本文引用地址：http://www.eepw.com.cn/article/233966.htm

　　SOKUDO DUO將被嵌入位於CNSE的NanoFab Xtension內由大日本SCREEN提供的成套450mm清洗設備中。大日本SCREEN提供的450mm晶圓刷洗機、單晶圓清洗以及毫秒退火系統將部署在G450C計劃安裝的設備中。G450C是由紐約州州長安德魯?庫默(Andrew M. Cuomo)於2011年9月宣布設立的公私協力(public-private partnership, PPP)聯盟，旨在促進該產業向新的標準450mm晶圓尺寸轉型。該聯盟由CNSE聯合英特爾(Intel)、IBM、GLOBALFOUNDRIES、三星(Samsung)和臺積電(TSMC)帶頭創立。

　　SOKUDO DUO擬採用與450mm浸潤式ArF微影系統一致的介面，並將於2014年夏季運抵紐約州奧爾巴尼市G450C總部，屆時將啟動所有安裝與參數特徵化工作。此舉極力回應並支援2013年7月紐約州發布的一份公告，該公告計劃將於2015年4月向CNSE提供一套450mm晶圓ArF浸潤式微影系統。值得注意的是，作為與G450C達成協議的一部分，SOKUDO也將提供450mm虛擬晶圓廠track製程支援，從而實現450mm DSA圖案化測試晶圓製造用於G450C成員的開發設備。DSA圖形化功能也將整合到SOKUDO DUO中，用於輔助採用浸潤式ArF曝光的微影技術。

　　SOKUDO Co., Ltd.執行長兼大日本SCREEN半導體設備公司總裁須原忠浩(Tadahiro Suhara)表示：「總部位於紐約州的G450C及其成員公司是450mm晶圓轉型的先驅，能夠與他們並肩合作我們感到十分高興。大日本SCREEN集團參與G450C專案的深度印證了我們在450mm半導體製造設備開發中的領導地位。尤其值得自豪的是該專案選擇了SOKUDO DUO 450mm track系統，此舉將鞏固我們長期作為尖端track供應商的地位。」

　　CNSE製造創新副總裁兼G450C總經理Paul Farrar, Jr.,表示：「在安德魯?庫默州長的領導與宏偉願景的指導下，紐約進一步成為產業向450mm晶圓技術實現關鍵轉變的中心。我們非常高興與大日本SCREEN的半導體設備公司繼續合作，並對其子公司 SOKUDO Co., Ltd參與幫助向450mm晶圓技術實現重大轉變表示熱烈歡迎。」

　　2013年7月，在美西半導體展(SEMICON West)期間舉辦的SOKUDO微影技術早餐論壇上曾揭露，SOKUDO DUO依比例增大的一種450mm完整晶圓已經在大日本SCREEN製程技術中心(位於日本彥根市)的無塵室內運作一年以上。SOKUDO是首批極力支援該聯盟的公司之一，其推出了各種450mm薄膜塗層的測試晶圓，包括用於實現450mm奈米壓印微影圖案化、DSA功能及參數特徵化的黏附性塗層。

　　作為半導體設備的領導企業，大日本SCREEN和SOKUDO將繼續推出世界一流的產品，為產業發展做出貢獻。

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