潤和微光王曉峰:衍射光學元件及其應用

2020-12-05 OFweek維科網

　　2015年3月17日，由OFweek中國高科技行業門戶主辦，OFweek雷射網承辦的「OFweek2015先進雷射技術及應用研討會」在上海喜馬拉雅酒店隆重舉辦。北京潤和微光科技有限公司王曉峰在本次會議上發表了「衍射光學元件及其應用」主題演講。

　　衍射光學元件(DOE：DiffractiveOpticalElements)，是基於光波的衍射理論，利用計算機輔助設計，並通過半導體晶片製造工藝，在基片上(或傳統光學器件表面)刻蝕產生臺階型或連續浮雕結構，形成同軸再現、且具有極高衍射效率的一類光學元件。衍射光學元件薄而輕，體積小，還具有高衍射效率、多設計自由度、良好的熱穩定性和獨特的色散特性，是諸多光學儀器的重要元件。

潤和微光王曉峰

　　會議上，王曉峰顧問重點講述了衍射元件產品類別及用途，並且介紹了分束元件、多焦點元件、平頂整形元件及特徵圖形元件在微加工中的應用。他說："利用分束元件實現的二維點陣陣列在雷射體感和雷射測繪方面有重要應用，如果點陣中的點的數量足夠多，則能夠定量精確的測繪目標的表面信息，在3D列印方面也有重要意義。"

　　在講到平頂整形元件在微加工中的應用時，他說，"高斯光束的能量分布方式為中間高邊緣低，在進行加工時，有相當一部分能量不能被有效利用。同時，為了保證加工的均勻性，光斑間的重疊要足夠大，從而影響加工效率的提高。平頂整形元件可將高斯光束轉換為客戶所要求形狀的平頂光束，光斑內能量均勻，從而可以大幅提高加工質量，減小HAZ，提高加工效率。"

　　此外，他還介紹了多焦點元件在微加工中的應用，他說：「在封裝領域，雷射封裝方法是實現高精度、低溫、低應力、晶圓級鍵合封裝的最優方案。特徵圖形元件配合平頂整形元件將在該領域發揮重要作用。」

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