摘要:p型單晶矽太陽電池在el檢測過程中,部分電池片出現黑斑現象。結合x射線能譜分析(eds),對黑斑片與正常片進行對比分析,發現黑斑片電池與正常電池片大部分表面的成分相同,排除了鍍膜及絲網印刷過程中產生黑斑的可能。利用x射線螢光光譜分析(xrf)測試了同一電池片的黑斑區域與正常區域,發現黑斑處ca含量較大,並出現sr、ge和s等雜質元素。將6個檔位的電池片製備成2cm×2cm的電池樣片,利用光生誘導電流測量了每個電池的外量子效率(eqe)。在460~1000nm波長範圍內,同一電池片黑斑處與正常處的eqe相差較大,說明黑斑的出現與原生矽片缺陷無關,應歸結於電池片生產過程中引入的雜質缺陷。給出了雜質引入的原因以及解決途徑,從而顯著減小了黑斑片產生的機率。
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引言
晶矽電池組件廣泛應用於光伏發電行業並形成相當大的產業規模,提高電池轉換效率、減少電池的不合格率、優化生產工藝技術是降低發電成本的主要途徑。
目前,國內外對於電池的隱裂、斷柵、裂片等失效分析進行過深入的研究,然而對於黑斑片卻鮮有報導[1]。在p型晶矽電池的大規模生產中,電池的檢驗常用電致發光(EL)檢測儀,根據矽材料的電致發光原理對組件進行缺陷檢測。EL測試的圖像亮度與電池片的少子壽命(或少子擴散長度)、電流密度成正比,太陽電池中有缺陷的地方,少子擴散長度較低,從而顯示出來的圖像亮度較暗[2]。電池製造過程,一般包括制絨、擴散、刻蝕、PECVD鍍膜、絲網印刷、燒結等工序。每道工序過程中,由於存在人為因素、環境因素及機械不穩定等因素,造成矽片的一些缺陷及汙染等,從而影響電池片的性能。因此黑斑片的出現,也許是矽片原材料的問題,也有可能是電池生產工藝的問題。
對電池生產線上出現的黑斑片與正常片做光衰實驗對比,發現兩組電池的衰減基本都在允許範圍內,說明黑斑片的產生與矽片材料質量無關。通常矽片中容易出現「黑晶片」,「黑晶片」呈現圈形年輪狀,其產生的原因主要在於單晶提拉過程中氧雜質分凝以及空位的聚集所產生的呈圈狀分布複合缺陷[3]。EL測試下的黑斑形狀不同於黑晶片,而且產線實驗也已排除原生矽片材料質量問題,因此有必要對黑斑片的產生原因和相關生產工藝進行更加詳細深入的研究。在本文中,我們將黑斑片與正常片做對比試驗,結合X射線能譜(EDS)、X射線螢光光譜(XRF)及外量子效率(EQE)測試,分析了黑斑片的產生原因,給出了解決途徑。
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實驗
採用NaOH溶液對p型(111)單晶矽片進行去除損傷層和制絨處理,矽片的厚度為190±10μm,電阻率為2±0.5Ω·cm。分別對矽片進行單面POCl3磷擴散,等離子增強化學氣相沉積(PECVD)法單面鍍膜SiNx∶H鈍化,以及背面電極、背面電場和正面柵線電極印刷,最後經過高溫燒結形成較好的歐姆接觸。
利用蘇州中導光電設備有限公司生產的紅外缺陷測試儀EL-S01對生產線上電池片進行測試,從中挑選出7個不同檔位的電池片,包括兩片黑斑片和5個正常片,其詳細性能參數見表1。大量EL測試結果發現,每個檔位電池都會出現黑斑片,但是高效率的電池片出現黑斑的比例較小。對於選中的兩片黑斑電池片,分別在同一黑斑電池片中央截取面積為2cm×2cm的兩個小樣片,其中一個是含有黑斑的樣片。利用X射線能量色散譜分析電池效率19.15%的黑斑樣片和正常樣片,其測試深度為10μm。採用布魯克X射線螢光光譜儀對效率為19.37%的黑斑電池片進行分析,選擇的測量面積是4cm2,即對整個小樣片的成分進行分析。採用美國Newport公司生產的光伏器件量子效率測試系統進行電池的量子效率測試,該系統組件包括鎖相放大器(ModelSR810)、單色儀(SPCS260-USBQEPVS)、標準光源(3502,100~240VAC50~60Hz,25W)和計算機處理系統(Q-basic)。對EL測試選出的5個檔位的正常電池片以及效率為19.37%的黑斑片上的兩個小樣片進行了外量子效率測試和分析比較。
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電致發光的原理
電致發光成像是利用載流子的電致輻射複合發光原理,對樣品在外加偏壓條件下發出的螢光進行收集成像。由於晶矽太陽電池中少子的擴散長度遠遠大於勢壘寬度,電子和空穴通過勢壘區時因複合而消失的機率很小。在正向偏置電壓下,p-n結勢壘區和擴散區注入了少數載流子,這些非平衡少數載流子不斷與多數載流子複合而發光[5]。如圖1所示,在太陽電池兩端施加正向偏壓時,其發出的螢光可以被靈敏的CCD相機獲得,即得到太陽電池片的輻射複合分布圖像。通過EL測試圖可迅速地檢測出太陽電池及組件中可能存在的複合缺陷,是一種有效直觀的檢測電池片和組件缺陷的方法[4]。
EL測試的圖像亮度與電池片的少子壽命(或少子擴散長度)與電流密度成正比,在有缺陷的區域,其少子擴散長度低,發光強度弱[2]。通過EL測試圖像的分析,可以清晰地發現太陽電池片及組件存在的隱性缺陷。由於電池片中有缺陷區域沒有發出紅外光,故在EL圖像中呈現「黑斑」[6]。
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結果與討論
3.1EL黑斑
通過EL測試,我們選出效率為19.15%和19.37%兩個檔位的黑斑片,如圖2(a)和(b)所示,可見黑斑位置並不確定、形狀似圓形、而非規則的圓點或同心圓。
利用太陽電池分選機測試實驗電池片的電學性能參數,如表1所示。表中,黑斑電池片的串聯電阻Rs和FF因子較正常電池片稍小,其餘性能參數正常。
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