屹唐半導體首批下線產品為幹法去膠、乾式刻蝕和快速熱處理等設備

2020-11-22 華強電子網

屹唐半導體首批下線產品為幹法去膠、乾式刻蝕和快速熱處理等設備

　　10月16日，北京屹唐半導體科技有限公司(下稱「屹唐半導體」)在北京亦莊舉辦新產品下線儀式，這意味著半導體設備製造業也展現了不錯的發展勢頭。

　　屹唐半導體首批下線產品為幹法去膠、乾式刻蝕和快速熱處理等設備。在本次儀式上，屹唐半導體也將部分產品正式交付給了中芯北方、長江存儲、以及華力微電子等客戶，已經成功進入客戶生產線。

　　其中，包括交付給中芯北方的Suprema等離子體去膠設備，交付給長江存儲的Helios XP快速熱退火設備，以及交付給上海華力微電子的Helios XP快速熱退火設備等等。

　　據悉，屹唐半導體主要為12英寸晶圓廠客戶提供幹法去膠(Dry Strip)、幹法刻蝕(Dry Etch)、快速熱處理(RTP)、毫秒級快速熱處理(MSA)等設備及應用方案，擁有完整的智慧財產權。幹法去膠(Dry Strip)、快速熱處理(RTP)、毫秒級快速熱處理(MSA)設備在各自細分領域都位於世界前三。

　　以收購求突破

　　眾所周知，在晶片製造當中，關鍵零部件大多來源於上遊設備廠的工藝開發，所以發展中國半導體裝備是非常重要的，而中國半導體產業發展過程中最大的短板即是設備和材料環節，其對國內產業突破的影響巨大。

　　為了解決這一問題，屹唐半導體自2016年成立就決定以約3億美元的總價收購Mattson Technology，正式進入半導體設備製造領域。

　　Mattson Technology是全球知名的半導體晶圓蝕刻機臺設備供應商，於1989年在矽谷成立，主要提供乾式剝離、蝕刻、快速熱製程(Rapid Thermal Processing，RTP)、毫秒退火(millisecond anneal，MSA)以及化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition，CVD)等設備。

　　雖然在收購前期，由於團隊不穩定和大客戶的流失導致其業績遭遇大幅下跌，不過通過不斷的新技術開發，重新拿到大客戶訂單，並得到了更大的市場份額，在併購一年之後，屹唐半導體創下了公司三十年的歷史最好成績。

　　如今，經過兩年多的整合，屹唐半導體新產品也成功下線，營收也將突破7000萬美元，明年營收更將會超過1億美元。

　　本次產品下線是屹唐半導體在收購Mattson Technology之後首次對外發布新的產品，可以說是中資收購國外半導體產業鏈公司推動國內產業發展的成功案例。

　　北京工廠年產設備100臺

　　據了解，屹唐半導體北京工廠2018年4月開工建設，9月投產，10月首臺產品正式下線，其投產速度極快。

　　該工廠建築面積共5100平方米，其中生產廠房面積超3600平方米，配套建設有1000餘平方米的萬級潔淨廠房和100平方米千級潔淨驗證測試間。工廠設計有10個組裝測試工位，每年可生產設備100臺以上。

　　此外，北京工廠還具備去膠、刻蝕和毫秒級退火等產品本地組裝能力，並能夠完成設備出廠前所有測試。其中研發測試中心具備國際先進水平的工藝實驗、檢測、研發環境;同時具備包括客戶培訓體系、現場技術支持、備品備件管理、客戶投訴體系等在內的架構完備、響應快速的客戶服務體系。

　　此舉能讓屹唐半導體更好地服務於中國半導體產業發展，實現國際品牌國產化，儘快提供「就地製造、就地研發、就地培訓、就地支持」等高效服務。



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