以石墨烯、BN、MoS2為代表的二維材料因其特殊的性能成為現在科研領域的新寵。現在,除了石墨烯和MoS2等熱度較高的二維材料之外,很多其他類型的二維材料也相繼被開發出來。
然而真正的二維材料因為厚度極薄,在掃描電鏡下襯度較低;而且因為X射線在深度方向的穿透,EDS對二維材料上的分析也無能為力。而目前的二維材料除了用到SEM之外,拉曼光譜也是極其重要的表徵手段,而將兩者完全一體化的電鏡-拉曼系統在二維材料的表徵上有著得天獨厚的優勢。
生長的石墨烯片層
很多科研工作者都會通過掃描電鏡進行石墨烯的形貌觀察,然而觀察到的究竟是否是石墨烯?石墨烯質量、厚度如何?這些問題卻不是僅用SEM能夠知道的。而掃描電鏡-拉曼聯用技術給出了很好的解決方案,確實成為石墨烯研究最強大的「神器」。
在電鏡-拉曼一體化系統中,當用SEM觀察的同時可以直接進行拉曼光譜的面掃描,可以通過D峰、G峰、2D峰之間的關係直接得到石墨烯的質量、厚度等信息。
如下圖,在SEM觀察到的區域再進行拉曼光譜面掃描,發現掃描區域存在三種不同的光譜。厚度約薄的2D峰強度越高,厚度增加2D峰減弱但G峰升高。因此電鏡-拉曼一體化系統的SEM和Raman混合圖像上不僅有形貌信息,也有石墨烯的質量厚度信息。
在SEM觀察形貌的同時進行拉曼面掃描
通過拉曼特徵峰獲得石墨烯質量、厚度信息
目前,有關石墨烯質量和厚度的測試方法還沒有明確的國家標準,行業上比較認可的方法有光學對比度法、原子力顯微鏡法和拉曼光譜法。在拉曼光譜中通常也用G峰和2D峰的比值來衡量石墨烯的厚度,比值越小,膜厚也約小。
如下圖,在矽襯底上用CVD法生長的石墨烯。我們通過電鏡-拉曼一體化系統得到G峰和2D峰的面分布圖,不過僅有G峰和2D峰的分布情況並不能完全幫助我們進行明確的厚度分布分析。
在矽襯底上用CVD法生長的石墨烯
石墨烯樣品的G峰和2D峰拉曼面分布圖
而電鏡-拉曼一體化系統的面分布能力非常強大,除了利用正常峰的強度、半高寬、位移等物理性質進行Mapping外,還可生成2D峰/G峰強度的面分布圖。
通過電鏡-拉曼一體化系統得到石墨烯樣品的2D峰/G峰強度的面分布圖
通過2D/G峰強度的分布圖有助於我們更加準確的進行石墨烯厚度分布的分析,最終獲得不同膜厚區域的特徵光譜,以及其分布圖。
石墨烯樣品不同膜厚區域的拉曼特徵光譜
石墨烯樣品不同膜厚區域分布圖
石墨烯的質量控制與鑑別
石墨烯是一個非常熱門的新興領域,不過也正因為如此,石墨烯的研究和製備也存在著良莠不齊的現象。很多研究的時候,在電鏡下觀察到明顯的明暗襯度的膜層就認為是石墨烯,甚至一些文獻中也出現了這樣的情況。
科研工作者也會藉助AFM、普通拉曼光譜等來配合電鏡進行石墨烯的表徵,但是拉曼光譜、AFM的數據和SEM的數據基本不在同一處,不能很好的進行嚴密的論證。所以從表徵的角度來看,不在同一處的不同儀器的數據,有時並不能充分說明問題,至少表徵還不夠嚴密。
比如在上述例子中,在花狀的石墨烯外面,電鏡圖像上認為的空白處,經過電鏡-拉曼一體化系統掃描後,該區域的拉曼光譜依然反應出石墨烯的存在。
再比如下圖,在電鏡中觀察到類似石墨烯的膜層狀結構,然而試樣是否真是石墨烯?質量、厚度又是如何?這還需要藉助其他手段進行綜合判斷。
在電鏡中觀察到類似石墨烯的膜層狀結構
在利用電鏡-拉曼一體化系統對該區域進行拉曼光譜面分布分析後,發現該區域的D峰、G峰強度較高,而2D峰很弱,說明了該區域的膜厚比較高,已經算不上是石墨烯,而且缺陷也很多,石墨烯的質量並不是非常理想,此外該區域還存在較多的擁有螢光峰的雜質。
進行拉曼光譜面分布分析該區域石墨烯厚度
該區域存在較多擁有螢光峰的雜質
此外,很多客戶在電鏡下觀察到的石墨烯,經過電鏡-拉曼一體化系統分析後,也發現均是質量不好的石墨烯,或者是石墨薄片,甚至是非晶碳,如下圖。
質量不好的石墨烯、石墨薄片、非晶碳等的SEM圖像
質量不好的石墨烯、石墨薄片、非晶碳等的拉曼特徵峰表現
由此可見,電鏡-拉曼聯用技術對於石墨烯的觀察和原位的質量鑑別及分析有著非常強大的優勢。
石墨烯複合材料
現在熱門的不僅僅是石墨烯本身,很多石墨烯轉移材料,或者把石墨烯作為添加劑的新材料和器件也成為研究熱門,希望利用石墨烯特殊的熱力光電磁性能來改變材料的性能。
那麼石墨烯在新複合材料中的分布、狀態及本身質量就成為新材料性能能否提升及提升多少的重要因素。因此在石墨烯複合材料中,能夠準確的進行傳統電鏡形貌、元素的測試,及石墨烯的詳細表徵就成為了表徵環節的重中之重,而這是電鏡-拉曼聯用技術的最大優勢所在。
如下圖,金屬合金材料中複合石墨烯,用以增強新材料的力學性能。在電鏡下確實觀察到了襯度偏暗的區域,能譜分析出的確是富含碳。但該區域是否真是石墨烯?只能求助於電鏡-拉曼聯用技術。
通過電鏡-拉曼一體化系統分析,結果表明偏暗區域的確是石墨烯的存在,不過缺陷相對較多,膜層層數也較多,這些信息對複合材料性能的研究有著置換重要的作用。
金屬合金材料的SEM圖像,襯度偏暗的區域可能是複合石墨烯
通過能譜分析,SEM圖像中襯度偏暗的區域富含碳
通過電鏡-拉曼分析技術,確認為石墨烯,且該區域缺陷和膜層層數相對較多
再比如下圖,試樣為表面包覆石墨烯的鋅粉。要想通過截面製備或者側面直接觀察出石墨烯的厚度和層數,無論掃描電鏡的解析度有多好,都是不可能完成的任務。就算真的觀察到類似層狀的結構,也不是我們所理解的石墨烯每一層層數,只是很多層堆疊在一起後的分層而已。
而在電鏡-拉曼一體化系統中可以直接進行拉曼面掃的分析。觀察到在整個掃描區域內,都有明顯的G峰和2D峰分布。由此我們可以知道該鋅粉外層的確有質量較好的石墨烯包覆,而且層數很少。
表面包覆石墨烯的鋅粉
通過電鏡-拉曼一體化系統,觀察到整個區域內G峰和2D峰的分布
MoS2的研究
除了石墨烯外,過渡金屬二硫化物也是二維材料的一個大類,如MoS2也是因為其特殊性能在電子器件領域廣受關注。
電鏡和能譜對二維的MoS2的表徵除了稍有形貌信息外,再無其他分析能力了。但是MoS2卻有非常強的拉曼特徵峰。如下圖,通過拉曼峰我們可以分析出MoS2的孿晶。
MoS2的SEM圖像
MoS2 的SEM-Raman疊加圖像
通過拉曼特徵峰表徵MoS2的孿晶
通過對MoS2的拉曼面掃描,我們發現MoS2的特徵峰在不同的區域呈現出不同的分裂。由此我們可以對其做出更詳細的分析,另外通過特徵峰分裂後的波數差值,也可以大致得到MoS2的層數。而這都是常規電鏡無法得出的信息。
MoS2的拉曼面掃描分析
MoS2的特徵峰在不同的區域呈現出不同的分裂
其他二維材料
滿足結構有序、在二維平面生長、在第三維度超薄這三個條件都算是二維材料,現在除了石墨烯和MoS2等熱度較高的二維材料之外,很多其他類型的二維材料也相繼被開發出來。比如和C元素相鄰的B、Si、P、Ge、Sn等元素的單原子層材料,即X烯,如矽烯、磷烯、硼烯;還有二維有機材料,如二維MOF或COF;還有超薄氮化物,如BN等。
這些二維材料都有著很強的拉曼特徵譜峰,所以利用電鏡-拉曼一體化系統對二維材料的分析表徵將會成為不可或缺的重要手段。
TESCAN發源於全球最大的電鏡製造基地-捷克Brno,是電子顯微鏡及聚焦離子束系統領域全球知名的跨國公司,有超過60年的電子顯微鏡研發和製造歷史,是掃描電子顯微鏡與拉曼光譜儀聯用技術、聚焦離子束與飛行時間質譜儀聯用技術以及氙等離子聚焦離子束技術的開拓者,也是行業領域的技術領導者。
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