搞不定諾獎?但可以搞定諾獎級的材料!——臺式高精度薄膜製備與...

　　一年一度的諾貝爾獎又要在十月揭曉了。縱覽歷年的諾貝爾物理學獎我們不難發現，很多新材料、新性質的發現都給我們的科研生活留下了濃墨重彩的一筆。

　　一、諾獎趣事

　　要說得諾獎，更多得靠上天的眷顧，讓科學家有神奇的想法和創意去登上世界科學的巔峰。不過有一位諾貝爾物理學獎得主的經歷更是傳奇的離譜。你還記得那個磁懸浮青蛙的實驗嗎？沒錯，憑藉磁懸浮青蛙，安德烈·海姆獲得了2000年的搞笑諾貝爾物理學獎，並且他親自去參加了頒獎儀式（可以自行了解，可不是每個人都敢去領這個搞笑諾獎的哦）。經過這次另類獎項的「洗禮」，他在稀奇古怪的道路上越走越遠，有一次他偶然用膠帶粘出了單層的石墨——「石墨烯」。2010年他憑藉最先製備出石墨烯並測量了石墨烯的物理性質而獲得真正的諾貝爾物理學獎。就這樣安德烈·海姆成為了擁有「雙料」諾獎的全球最「逗」科學家。石墨烯的發現也對物理學的發展起到了巨大的推動作用。很多基本的物理理論在石墨烯中得到了驗證、石墨烯的特殊性質促進了新型器件的發展、受到石墨烯的啟發科學家製備出了更多種類的二維材料，可見石墨烯的發現意義非凡。雖然得諾獎的人鳳毛麟角，對普通的科研工作者而言搞不定諾獎是正常的，但是現在我們可以讓您輕鬆搞定諾獎級的材料。

　　二、石墨烯製備的先進方案

　　從最初的石墨剝離方法（膠帶粘貼）到化學氣相沉積方法（CVD），石墨烯的製備手段一直備受關注。經過十年的發展，CVD方法已成為公認的最有市場前景的石墨烯製備方案。英國Moorfield是一家專注於高質量的薄膜生長與加工技術的研發公司，常年來與曼徹斯特大學安德烈·海姆課題組等多個世界知名科研團隊都有重要的合作，並為他們提供高性能的科研設備，其中臺式高性能CVD石墨烯/碳納米管快速製備系列—nanoCVD便是典型代表。與諾獎團隊的長期合作使得該系列產品在製備石墨烯等碳基納米材料方面具有不可比擬的優勢。該系列產品操作簡便，生長條件控制精準，生長迅速、製備出的樣品具有高質量、高可重複性。30分鐘內搞定高質量石墨烯生長，nanoCVD可能是世界最快的石墨烯生長設備！

　　日前，Quantum Design 中國子公司與英國Moorfield公司正式合作，作為中國的獨家代理和戰略合作夥伴，將為中國用戶提供高性能的設備與優質的服務。

臺式高性能CVD石墨烯快速製備系統—nanoCVD 8G

　　三、其他薄膜製備與加工手段的代表設備

　　除了石墨烯製備設備，英國Moorfield公司還推出了一系列高性能的薄膜製備與加工設備，例如磁控濺射、熱蒸發、等離子刻蝕、高精度熱處理等。

　　臺式高質量多功能薄膜磁控濺射系統— nanoPVD S10A是Moorfield傾力打造的一款高度集成化、智能化的臺式磁控濺射系統。該系統雖然體積小巧，但是功能出色、配置齊全。nanoPVD S10A最多可安裝3個水冷式濺射源，可實現高功率持續運行，靶材尺寸與大型系統一樣是行業通用尺寸。系統最多可同時控制3路氣體，可以實現大型設備才有的共濺射和反應濺射方案。劍橋大學、諾森比亞大學、帝國理工學院等用戶都對這款臺式設備給予了很高的評價。

臺式高質量多功能薄膜磁控濺射系統—nanoPVD S10A

　　臺式高質量金屬\有機物熱蒸發系統 - nanoPVD T15A是Moorfield推出的 nanoPVD系列中最新的型號，高腔體設計方案專為熱蒸發而設計，確保薄膜均勻度。系統可以配備低溫蒸發(LTE)和標準電阻蒸發源，分別用於沉積有機物和金屬薄膜。低熱容有機物蒸發源具有高精度的控制電源，可以精準的控制蒸發條件，製備高質量的有機物薄膜。金屬源採用盒式屏蔽模式，可以有效的減少交叉汙染等問題。智能的控制系統和靈活的配置方案使PVD-T15A廣泛應用於全球材料研究領域。劍橋大學、巴斯大學、埃克塞特大學、倫敦瑪麗女王大學等都是該設備的用戶。

臺式高質量金屬\有機物熱蒸發系統 - nanoPVD T15A

　　臺式超精準二維材料等離子軟刻蝕系統—nanoETCH是與曼徹斯特大學諾獎得主Andre Geim課題組聯合研發的可用於二維材料高精度刻蝕的等離子軟刻蝕系統。與傳統的刻蝕方案相比，nanoETCH在石墨烯和2D材料的關鍵加工中表現出了很高的性能。該系統對輸出功率的解析度可到達毫瓦量級，可實現對二維材料的超精準逐層刻蝕，也可實現對二維材料進行層內缺陷製造，還可對石墨等基材進行表面處理。該系統性能已經在劍橋大學石墨烯中心、曼徹斯特大學、英國國家石墨烯中心、西班牙光子科學研究所等諸多用戶實驗室得到驗證。

臺式超精準二維材料等離子軟刻蝕系統—nanoETCH

　　臺式精準氣氛\壓力控制高溫退火系統—ANNEAL可用於二維材料以及襯底在特定氛圍中的高精度熱處理，也可用於其他有高精度熱處理要求的方向。英國Moorfield 公司將樣品、襯底等材料的熱處理上升到與納米材料的製備同樣的技術高度。通過精準的真空度與氣氛控制以及高精度的溫度控制使樣品的熱處理過程變得和樣品的製備過程一樣高度可控。西班牙光子科學研究所、英國國家物理實驗室、曼徹斯特大學等用戶對該設備的性能讚譽有加。

臺式精準氣氛\壓力控制高溫退火系統—ANNEAL

　　多功能高級磁控濺射噴金儀—nanoEM是為SEM、TEM樣品的表面導電處理以及普通樣品的高質量電極生長而設計的金屬濺射系統。系統可配備SEM樣品託、TEM樣品網、普通薄膜樣品等多種專用樣品臺。雖然該系統主要為濺射導電金屬而設計，但是該設備的性能已經達到了高質量薄膜樣品的製備標準。通過選擇不同的配置可以兼顧樣品的表面導電處理、電極製備與學術研究型薄膜樣品的製備。

多功能高級磁控濺射噴金儀—nanoEM

　　四、落戶中國

　　在正式向中國客戶提供設備和服務的短短數月時間內我們便收到了諸多諮詢，設備的性能更是受到了國內諸多單位的認可。目前國內首套臺式高質量多功能薄膜磁控濺射系統- nanoPVD S10A訂單已落戶寧波大學。國內首套臺式超精準二維材料等離子軟刻蝕系統—nanoETCH即將在中國科學院上海技術物理研究所安裝。我們希望更多的臺式高精度薄膜製備與加工系統能夠落戶中國，讓國內的科研工作者製備出更好的樣品！

　　五、產品詳情

　　臺式高性能CVD石墨烯/碳納米管快速製備系列—nanoCVD：https://www.caigou.com.cn/product/2020061627.shtml

　　臺式高性能多功能PVD薄膜製備系列—nanoPVD：https://www.caigou.com.cn/product/2020061623.shtml

　　臺式超精準二維材料等離子軟刻蝕系統—nanoETCH：https://www.caigou.com.cn/product/2020061629.shtml

　　臺式精準氣氛\壓力控制高溫退火系統—ANNEAL：https://www.caigou.com.cn/product/2020062923.shtml

　　多功能高級磁控濺射噴金儀—nanoEM：https://www.caigou.com.cn/product/2020062924.shtml