晶片裡面有幾千萬的電晶體是怎麼實現的?

2021-01-09 醒目鳥

1,半導體工藝的歷史差不多就是英特爾的歷史;

2,半導體設備的歷史要看ASML、TI、KT、AMAT、TEL、安捷倫、尼康等,而先進設備看ASML跟AMAT就可以了;3,半導體設計的歷史與現狀查看高通跟聯發科;4,半導體代工廠查看TSMC和SMIC;5,差不多了吧。

上述兩個答案,已經很全面了,因為從fab(就是前面朋友說的foundry,這裡特指半導體生產製造代工廠,業內人以fab代稱,以臺積電(TSMC)為最,國內中芯國際為代表(SMIC))的PIE(全稱是process integration engineer, 工藝集成工程師,fab裡的崗位之一,號稱是fab的靈魂,其實也就是盯著全線工藝的,當然也會做其他的事情 )出來,所以從其他方面補充一下(純描述,無圖,自行腦補吧)。

目前晶片技術含量最高的,無疑還是電腦晶片跟手機晶片,英特爾的i7(這個不用介紹了吧)處理器裡面是已經是幾十億顆電晶體了,遠遠超過題主說的幾千萬。

將一顆顆比塵埃還小的電晶體,弄上去,是需要一些手段的,嗯,分步驟介紹如下:

首先,得有圖,以前是圖紙,現在是電子圖,總之,得事先規劃好這些電晶體的布局,電路設計師就是做這些的,另外還有版圖設計師、驗證的、仿真的等,將複雜無比的電路給具現到一顆顆電晶體上面,然後就可以開始製造了。

那麼,怎麼製造出來呢,答主PIE出身,對這個算是頗為熟悉,所以介紹的仔細一點。

從MTK(就是聯發科,中低端智慧型手機的晶片大多就是他家的,感謝聯發科,讓智慧型手機迅速普及,小米跟魅族想降價,就得繼續用他們的貨,便宜又好用)或高通(高端晶片代名詞,特別貴,還收離譜的授權費,涉嫌壟斷被搞了,不過這家公司真心牛逼)或其他廠家或design house(晶片設計公司,大把的抓,主要就是設計晶片電路的,臺灣跟深圳最多)進來的需求到了fab,要生產晶片了,好,fab開始負責接單,首先確認工藝,如果客戶行有餘力,還會提供技術支持,不過一般都是fab自己搞定。

幾十億顆晶片要製造出來,得有一套詳細的流程,什麼時候用什麼機臺用什麼條件等,fab裡叫flow,就是流水線作業,這個在產品進入量產之前,都會有幾個版本的flow,調工藝條件,叫recipe。

flow好了,就開始生產吧。

現在的工藝條件22/28nm(SMIC的北京新廠研發任務就是承擔這個使命的)臺積電量產是ok的吧,不過國內還不行,技術還達不到,40/45nm的已經ok了,SMIC在生產了。目前一般的手機晶片生產過程需要涉及到數十臺先進機器,數千個step(就是步驟,這個也解釋我也是醉了),那麼幾十個機臺對應幾千個step,就不可避免的要重複使用,所以就有了重複的步驟,正是這一步步的重複,最終將電路圖給實實在在的刻在晶圓上,fab裡叫wafer,8寸(就是指wafer的直徑,矽基底)是主流,12寸(直徑300mm)是趨勢,18寸廠(直徑450mm)還得好幾年,目前國內有5家12寸廠(SMIC兩家,華力一家,武芯一家,還有個忘了,英特爾跟三星也有12寸廠,在大連跟西安,不過算是國外的)。

從最開始wafer進來檢測ok,開始清洗,有時候需要做外延,有時候是外延好的產品,fab裡目前的工藝需要做幾層oxide(氧化物層)、nitride(氮化物層),然後才是流程化的曝光、顯影、刻蝕、洗邊、填充、研磨(這幾個術語還真不好解釋,參考上個回答的圖文吧)等,跟答案一的步驟類似,就不詳述了。裡面用到的設備都奢侈昂貴,litho區(就是黃光區,在這個區域裡面主要是做光學方面的東西,包括曝光、顯影、檢測等)的immersion(浸潤式,這個是目前光學設備的最頂尖工藝)真是頂天了,ASML(荷蘭的牛逼公司,做光刻機的,最強工藝機臺就是他家生產的)的一臺機器跟大卡車似的,賣幾億RMB,尼康(尼康的光學鏡頭也是挺牛的,不過還是比不上ASML)的相對便宜些,那些可是代表半導體最頂尖的技術,EUV(深紫外光,光學波長更短,還在研發中)出來至少得再翻幾番吧。

wafer在出廠之前,要檢測WAT(主要指晶片的電性能測試,主要包括電阻、電容、電壓等)啊THK(主要是厚度測試,thickness)啊角度啊等,看產品需要,然後出給客戶,如果客戶那邊檢測ok,後續也沒那麼多麻煩事了,不然呢就得回頭繼續改,或者做yield improve(良率改善,就是提高晶片的良率,業界良心,55nm工藝的良率都是衝刺99%的),好麻煩的。

再補充幾句吧,答主以前做logic CMOS(邏輯電路晶片,與記憶類晶片不同,工藝複雜些)的,電晶體都是共用的,55nm摸過的,關鍵工藝有那麼幾步:AA(就是離子注入的主要位置)、poly(多晶矽材質,電壓就是壓在他上面)、CT(這裡指下面電晶體跟上面金屬線的連接層)、M1(金屬線第一層,一般越先進的工藝,金屬線排布越複雜,不過工藝條件差不多,以第一層來代替後續工藝),AA、Poly更是將電晶體定義出來了,關鍵之處不言而喻,後面的CT、metal不過是將這些電晶體連起來的管路而已,特別是metal,都是重複堆疊,相比較而言更考驗CMP(就是研磨,現在的東西鍍膜了要通過CMP磨平,金屬線填充的高低起伏要靠CMP磨平,所以現在金屬線的工藝水平幾乎受CMP制約)的能力。

做AA、Poly,最考驗litho和etch(刻蝕,一般指離子刻蝕),怎麼樣曝出來符合要求的尺寸,fab叫CD(critical dimension,特徵尺寸,其實就是大家常說的45nm工藝等,poly的線寬),是最核心的工藝,一般fab裡最頂尖的機臺和工程師就是為這個服務的,intel有魚鰭結構的,後面或者3D電晶體,這個必須大牛才能解釋清楚了。

——————————閒言碎語補充————————————

其實現在大多數晶片製造都是放在fab裡做的,intel和三星還在堅持自己一條龍,設計、生產、產品都做了,蘋果據說也買了個廠來製造,個人是不看好的,fab這東西需要積累的太多了,而且很辛苦,利潤也沒那麼高,蘋果自己搞這個,反倒是放棄了自己的長處,估計也不會花費很多心思在上面。

另外,目前晶片製造,除了製造出有源區的電晶體,電晶體後面的布線方式也一起打包做了,就是後面的metal互連,以前用Al(鋁,以前的金屬線材料),現在用導電性更好的Cu(銅,現在的金屬線材料),而且採用大馬士革或者雙大馬士革工藝(鑲嵌工藝,因為大馬士革這個地方的玻璃、寶石鑲嵌工藝很出名,所以用地名代替)來弄,Cu互連技術倒有可能是制約晶片進一步微縮的門檻,需要技術突破的地方。

做電晶體,就不能不說離子注入,fab叫implant,用什麼樣的離子(B-硼,P-磷等),劑量,角度,強度,都很講究,因為這些決定了電晶體的導電特性,先進工藝還用到了halo implant或者分批次注入等方式(這裡主要是為了讓離子注入濃度更均勻),也是需要技術突破的地方。

補充一下怎麼刻那麼細。

頭髮很細嗎,已經很粗了好嗎,請不要用肉眼的判斷來衡量機器的工作能力,一根頭髮的直徑是8w納米,而光學(肉眼可見和紫外)的特徵波長有193、248、400nm多的,具體數字記不清了,不過正是光的特徵波長決定了可以做多細,而immersion機臺可以將193再乘以一個係數,現在的28nm技術就是用這個機臺搞出來的,而至於7nm等更先進的,估計要等EUV出來。(好像有圖,有時間找找貼上來,我是有多懶得找圖啊)

從普通人角度來看,怎麼可能做這麼細,或者可以這麼理解:我有一個非常穩定的固定裝置,非常精確的對準裝置和檢測裝置,然後有一個非常細的刻刀(光的特徵波長),將wafer牢牢固定之後呢,用非常細的刻刀去操作它,肉眼看不清的圖案它能看清,肉眼做不到的事情它能做到,所以這就是機器的牛逼之處,感謝ASML吧,那是一家最頂尖的公司。

而且晶片也不是所有的地方都細,一般也就AA、Poly、CT、M1細,其他的還好啦,再補充一點,所謂先進技術裡那麼細的,fab叫特徵尺寸CD的,指的是Poly的CD,就是常說的28nm技術,45nm技術等。

另外再吐槽一下,並不是電晶體越多越好,反正從答主的工作經驗來看,越先進的工藝,問題越多,可靠性越差,為什麼我們覺得以前的機子耐用,現在的機子經常死機,不是很簡單的嗎,以前的器件像一整個石塊一樣,很牢固,現在的器件像石子粘起來的石塊,任何一個石子出現問題了,整個石塊就崩裂了,所以功能增多的同時,是要損失壽命的。不過大家兩年一換手機,也無所謂了,不是嗎……

……補充……有朋友問12寸的wafer上能做多少顆晶片,以答主做過的55nm晶片為例,從6000顆到3w顆都見過,也聽同事說過十幾萬的,看晶片設計的大小了,也跟功能有關係,有的沒辦法做太小,而有的沒必要做很大,而且隨著集成度越來越高,可能會分岔路走,一方面走功能多樣化,這樣晶片面積很難減小,另一方面走小晶片之後再拼接,這樣wafer上的晶片只會越來越多。(祝福民族半導體事業)

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